Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9160391 à vendre en France

NIKON NSR 2205 i11D
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 i11D
ID: 9160391
Taille de la plaquette: 8"
Stepper, 8" Reticle size, 6".
NIKON NSR 2205 i11D est un pas de plaquette qui est utilisé pour les processus de microlithographie. Cet étage possède une source lumineuse de laser excimère (longueur d'onde 248 nm) pour de faibles caractéristiques de réflexion et d'absorption. L'équipement dispose également d'une optique de projection de réduction qui utilise deux lentilles pour réduire l'image du réticule et est compatible avec des techniques telles que le champ sombre, le champ lumineux, la variation du foyer, ainsi que le champ lumineux. Le laser permet des longueurs d'impulsions optiques variables de haute puissance avec des largeurs d'impulsions allant jusqu'à 300 ns, ce qui est idéal pour un traitement fiable. Cette machine a une grande taille de table de 53 x 63 cm et est capable de manipuler de grandes plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre. Pour assurer un alignement précis, il a une précision de positionnement de 0,5 μ m selon les axes x et y, une planéité de champ de 0,2 μ m, et une répétabilité d'étage de ≤ 0,5 μ m. Il est capable de manipuler des doses d'exposition laser de haute puissance allant jusqu'à 900 mJ/cm2. Pour améliorer encore la productivité et le débit, il peut traiter jusqu'à 1000 plaquettes/heure. NIKON NSR-2205I11D dispose d'un panneau de contrôle convivial avec une interface graphique intuitive pour une plus grande commodité d'utilisation. Le système s'intègre également à plusieurs technologies avancées telles que Auto-Tune, une fonctionnalité qui ajuste automatiquement les paramètres de l'unité pour une meilleure précision et une réduction des déchets. En outre, l'utilisation de la fonction Auto Recipe intégrée permet une initialisation du travail plus rapide et une meilleure précision de la machine. Ce pas de plaquette avancé est livré avec un moteur Align-Checker préinstallé, qui fournit des fonctions de détection de trous et d'analyse d'image supplémentaires. Il est également livré avec une fonction de détection de bord qui est conçu pour détecter les défauts de traitement dans la zone de couche mince. Une autre fonctionnalité utile est son identité de numéro de série, qui peut personnaliser les numéros de travail et les codes de suivi. NSR 2205I11D est un pas de plaquette fiable et performant qui est idéal pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Ses fonctions avancées et ses fonctionnalités automatisées améliorent grandement la productivité et la précision, tandis que l'interface utilisateur intuitive le rend très facile à utiliser.
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