Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9236906 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 i11D
ID: 9236906
Taille de la plaquette: 6"
Stepper, 6" Reticle, 6" (2) Carriers Illumination: SHRINC3 Lamp illumination: Average power: 556.099 mW / cm² Uniformity: 1.126% Lens distortion: ±0.050 µm Maximum: X: 0.032 Y: 0.046 Minimum: X: -0.057 Y: -0.045 Field inclination: Within: 0.35 µm UL-LR, UR-LL: 0.2 µm AST: 0.25 µm Maximum: 0.384 µm Curvature: 0.099 µm UL-LR: -0.160 µm UR-LL: -0.010 µm.
NIKON NSR 2205 i11D est un pas de plaquette avancé conçu pour les fabricants d'appareils qui ont besoin d'une précision et d'un débit ultimes dans l'environnement de production. Ce pas de plaquette utilise la technologie des sources lumineuses et l'optique de précision pour contrôler avec précision l'exposition des motifs de masque. Il peut traiter jusqu'à 4,5 pouces de plaquettes et a à la fois un mode de balayage à haute résolution et un mode de balayage à très haut débit. NIKON NSR-2205I11D wafer stepper utilise un équipement d'éclairage plein champ, connu sous le nom de « NSR Q-Illumination », qui est capable de fournir un rayonnement lumineux très uniforme sur les axes X et Y avec une intensité stable sur tout le champ. Ce système est capable d'une exposition uniforme sur l'ensemble de la plaquette pour tous les motifs de masque, quelle que soit la taille du motif. L'unité d'éclairage de ce modèle offre de multiples niveaux d'irradiation et de points focaux, ce qui contribue grandement à améliorer les performances lithographiques dans une large gamme de tailles de motifs de 0,5 à 10 µm. NSR 2205I11D utilise également un déphaseur pour affiner l'éclairage et peut même réduire ou diminuer les encoches dans des portions mal formées de motifs de masque. L'utilisation de ce déphaseur permet une plus grande flexibilité dans le contrôle de l'exposition des motifs, permettant une meilleure et plus uniforme résolution des caractéristiques fines. Le mode de scan de ce modèle offre un choix de résolutions, la résolution supérieure étant capable d'atteindre une résolution linéaire de 7,5 % apportant clarté et précision au processus de lithographie. Le mode de balayage à grande vitesse est parfait pour les processus à haut débit car il est capable de scanner jusqu'à 30 plaquettes par heure avec une précision de 10 % de résolution linéaire. La taille de ce pas de plaquette n'est pas seulement limitée à sa machine d'éclairage, il dispose également d'un étage d'échantillonnage auto-chargement qui permet le chargement et le déchargement des plaquettes efficacement et avec la plus grande précision. Il dispose également d'une phase de focalisation automatique à faible vibration qui permet une détection précise et précise de la surface de l'échantillon pour des résultats d'exposition optimaux. Pour ceux qui ont besoin d'un pas de plaquette précis mais efficace, NIKON NSR-2205 I11D est le choix parfait. L'optique avancée, l'éclairage et les modes de balayage offrent des performances précises, uniformes et à grande vitesse qui sont inestimables pour les fabricants de dispositifs dans l'environnement de production.
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