Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9244218 à vendre en France
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Vendu
ID: 9244218
Taille de la plaquette: 8"
Stepper, 8"
Basic version: MCSV
Option version: OCSV
Lamp power
Uniformity
Stepping
Overlay(LSA): lXl+3σ
Overlay(FIA): lXl+3σ
Reticle rotation: Repeatability
Lens distortion: Min~Max
Reticle blind
Main computer:
Computer system
Hard Disk Drive (HDD): DKA200,300
Disk drive: Tape (DAT)
Illumination type: 1.75 kW Lamp
Wafer stage:
Ball screw
Ring type chuck
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: FIX
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi point
Wafer loader:
Type 2
Flat type
Inline (Left)
Cassette (Left)
Control rack position: Right
Reticle loader, 6"+ extra
PPD2
Chamber type: S07
Temperature: 23°C
No bar code.
NIKON NSR 2205 i11D est un pas de plaquette haute performance conçu pour le traitement des plaquettes monobloc et cluster. Cette machine est conçue avec un puissant équipement d'optique DUV, permettant un traitement de haute précision des substrats même les plus difficiles. NIKON NSR-2205I11D dispose d'un système de nouvelle génération et de répétition, capable d'atteindre des résolutions exceptionnellement élevées. NSR 2205I11D dispose d'un capteur de 11 méga-pixels qui permet des alignements de 0,28 µm, avec une grande plaque de bricolage offrant une superbe répétabilité et précision. Cet étage dispose également d'une unité d'alignement de plaquettes nouvellement développée qui peut détecter automatiquement l'orientation d'une plaquette, permettant un alignement et un placement de la photomasque de façon répétée et précise. Il comprend également une machine de balayage rapide, permettant une inspection du substrat à haut débit et méticuleuse. NSR 2205 I11 D est alimenté par un contrôleur NIS 50MHz et un moteur de scanner, ce qui lui donne un contrôle de mouvement fiable et efficace. Il dispose également de fonctions d'auto-focalisation et de couture pour le plus haut degré de précision. Avec NIKON NSR-2205 I 11 D, les positions de l'étage de plaquette et de la table de masque sont surveillées et corrigées pour une dérive de position nulle. NIKON NSR 2205I11D est un excellent outil pour la production de puces, permettant aux utilisateurs d'obtenir une précision d'alignement très précise et répétable. Il est livré avec beaucoup de fonctionnalités utiles, telles que l'auto-alignement avancé, scanning, couture, et auto-focalisation capacités, et I/O s'emboîte pour éviter les dommages à l'optique et à la surface du substrat. NIKON NSR-2205 I11D offre une grande combinaison de haut débit, de haute précision et de performances fiables, ce qui en fait un choix idéal pour les applications de puce et de semi-conducteur les plus exigeantes.
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