Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9245445 à vendre en France
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Vendu
ID: 9245445
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
Stepper, 8"
Basic version:
MCSV Basic: 2.10A
Option version: OCS
Main system: 2020A
Main computer: Vax 4000 96
Hard Disk Drive & storage drive included
Illumination type: No shrinc
Wafer stage:
Chuck type: 4" (PSS)
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA & ISS
Reticle microscope: Fix
Auto focus: Multipoint
Wafer loader:
Wafer size: 4"
Loader type: Single
OF Type: Flat
Flat zone: Flat
In-line: Left
Cassette: Center & right
Control rack position: Right
(6) Reticle loaders
No extend library
13 Slot
No PPD
No barcode system
Chamber type: ASAHI
Lens data:
Long term focus stability: Within 0.25 um
Magnification control vs. & lens heat focus Div.:
Mag: ≤ 0.02 um
Focus: ≤ 0.2 um
Auto focus repeatability: ± 0.1 um
Focus calibration 2 repeatability: 3δ ≤0.10 um
Lens distortion (Including magnification): Within ± 0.055 um
Lens stability: Within ± 0.050 um
Reticle blind setting accuracy: + 0.4 to + 0.8 mm (On reticle)
Exposure power: 650 mW/cm²
Intergrated exposure control: Within ± 1.0%
Illumination uniformity: Within 2.5%
Reticle rotation: Abs & Rep within 20 nm
Array orthogonality: Within ± 0.1 sec
Stepping precision: Within 0.05 um (3δ)
Alignment accuracy:
LSA: |X| + 3δ < 0.075 um (Center position)
FIA: |X| + 3δ < 0.075 um (Center position)
Stepping rate: < 20 Sec (4" Base)
Wafer Pre-alignment 2 repeatability: 3δ < 25 um
Throughput with Pre-alignment 2:
LSA: EGA ≥ 50 Wafer / hr
FIA: EGA ≥ 50 Wafer / hr
System throughput: Within 83.7 sec / Wafer (4" Base)
Chip leveling accuracy: Within ± 1.5 sec
Chip leveling control time:
Angle at 10 sec within 280 msec
Angle at 30 sec within 610 msec
Angle at 50 sec within 940 msec
Operation test:
Wafer system: > 99%
Reticle: > 100%
1994 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D est un pas de plaquette de haute précision qui permet d'automatiser les processus d'exposition des plaquettes. Cette machine utilise l'ASM brevetée NIKON (Auto-Smoothing Motor) pour garantir une qualité d'imagerie supérieure et un débit élevé. Le générateur de motifs lithographiques i-Line inclus a une résolution de 0,8 μ m, permettant l'exposition de motifs de résistance avec une grande précision et répétabilité. NIKON NSR-2205I11D utilise un miroir pour régler dynamiquement la position focale du faisceau d'imagerie, fournissant ainsi des images de haute qualité de manière cohérente. Cet équipement dispose également d'un dosage rapide avec un système de contrôle de rétroaction utilisant des plaquettes de référence. Le mode d'exposition à haut débit inclus réduit les temps d'exposition à l'imagerie jusqu'à 10 % par rapport au mode traditionnel pour l'augmentation des cycles d'imagerie et de la productivité. Cette machine présente une structure très stable qui permet un fonctionnement sans entretien dans un environnement de haute température et de vibration. NSR 2205I11D a également une faible consommation électrique, ce qui permet une réduction significative des coûts énergétiques. L'unité de mesure d'image numérique (SMDI) incluse assure la surveillance et le réglage des valeurs d'exposition de la plaquette à la plaquette pour maintenir des images de haute qualité. Ce pas de plaquette comprend une machine permettant l'exposition automatique, ce qui simplifie l'exposition des motifs de petites surfaces. Il existe également un outil de surveillance des antécédents d'exposition qui permet à l'utilisateur de revoir les résultats des expositions antérieures. Le compteur de vibrations et de particules inclus améliore la précision de détection des particules, réduisant ainsi les besoins de maintenance. Le i11D est également équipé d'un outil de surveillance des opérations pour détecter et signaler automatiquement les irrégularités et les problèmes de modélisation. Dans l'ensemble, le NIKON NSR 2205 I 11 D est un pas de plaquette de haute précision avec des caractéristiques avancées qui offrent une résistance à l'automatisation de l'exposition et une grande précision, ainsi que des performances fiables dans des environnements de haute température et de vibration. Avec sa faible consommation d'énergie et son équipement d'exposition automatisé, il est un excellent outil pour la production d'images de haute qualité avec des résultats constants et reproductibles.
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