Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9247255 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 i11D
ID: 9247255
Taille de la plaquette: 6"
Stepper, 6" Illumination: SHRINC3.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper est un appareil d'imagerie de pointe conçu pour les procédés de lithographie optique à semi-conducteur. Il est conçu pour l'alignement des plaquettes et l'exposition de précision, qui est utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme. En tant que produit phare de NIKON, le stepper offre des performances supérieures et fournit un portefeuille complet de fonctions avancées. Il est capable de jusqu'à 5 générations de géométries d'appareils dans la gamme de 0,14 μ m, offrant une résolution et une précision supérieures dans toutes les opérations de lithographie. L'unité dispose d'un étage optique nouvellement conçu, offrant un fonctionnement rapide et en douceur. Il est équipé d'un « Line Scan Aperture », un appareil unique qui permet un alignement précis des plaquettes avec un mode de balayage à grande vitesse allant jusqu'à 30kHz. En outre, l'unité comprend un « moniteur d'image focale haute résolution » propriétaire qui permet aux utilisateurs de détecter les conditions du processus, permettant un plus grand degré de précision du processus. En outre, NIKON NSR-2205I11D stepper utilise des algorithmes sophistiqués de correspondance de motifs, fournissant la capacité d'obtenir un enregistrement parfait au niveau de l'appareil. Ceci permet une précision améliorée avec des résolutions allant jusqu'à 1,4 nm. En outre, le système est conçu pour une utilisation avec une variété d'expositions différentes, y compris des alignements verticaux et latéraux, double fixation et double exposition. D'autres caractéristiques exceptionnelles de NSR 2205I11D comprennent un mode avancé de balayage/laser, un mode d'étalonnage des erreurs de diffraction, un mode de réduction du bruit et une fonction anti-vibration sous-zéro. Le mode Balayage/Laser permet d'aligner avec précision les motifs qui se chevauchent avec un laser à grande vitesse tandis que le mode de calibration des erreurs de diffraction réduit les motifs liés à la diffraction. Enfin, tant le mode de réduction du bruit que la fonction anti-vibration sous-zéro sont utiles pour prévenir les distorsions et stabiliser les plaquettes. Dans l'ensemble, NIKON NSR 2205I11D Wafer Stepper est un équipement d'imagerie innovant et de pointe conçu pour les procédés de lithographie avancés. Son ensemble de caractéristiques sans pareil offre des mesures et un contrôle de processus exceptionnels, avec une haute résolution, précision et précision. Il est idéal pour les processus de production de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme et fournit des résultats impressionnants à chaque fois.
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