Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9251004 à vendre en France
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Vendu
ID: 9251004
Style Vintage: 1996
Stepper
MCSV Basic version: 2.31D
OCS Option: 2.18A
Main system: 2.42A
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Alignment
Main computer:
System: VAX4000.90A
Hard disk: DKA200, DKA300
Illumination type: SHRINC3
Revolver type: Conv, ann, small
Wafer stage:
Chuck type, 8"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Wafer loader, 8"
Loader type: Type2 (A3)
OF Type: Notch
Flatzone: 6 O'Clock
Cassette: Left and right
Control rack position: Right side
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Wafer flatness: 1.510 um
Wafer leveling:
X: -0.248 sec
Y: 0.049 sec
Reticle blind setting accuracy:
XP: 0.5 mm
Xm: 0.6 mm
Yp: 0.7 mm
Ym: 0.5 mm
Stepping:
3σ-X: 0.025 um
3σ-Y: 0.023 um
INC Adjustment:
Maximum-minimum: 0.311 um
Curvature: 0.010 um
UR-LL: -0.056 um
UL-LR: 0.081 um
DIS Adjustment:
Maximum-X: 0.037 um
Maximum-Y: 0.047 um
Minimum-X: -0.051 um
Minimum-Y: -0.044 um
Exposure power: 565 mw/cm²
Power uniformity: 0.934%
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D est un pas de plaquette haute performance conçu pour les applications avancées de lithographie et d'inspection. Il se compose de deux composants principaux, d'un équipement d'éclairage très avancé et d'un étage mobile avancé. Le système d'éclairage forme une lentille de projection optimisée qui projette un motif haute résolution sur une plaquette semi-conductrice, permettant des caractéristiques formées avec précision et une plus grande uniformité. La lentille est supportée par une lampe à arc de mercure, qui fournit un haut degré d'éclairage sur une grande surface. Les composants optiques comprennent une diode laser et une série de lentilles qui aident à fournir un éclairage uniforme. L'unité d'éclairage dispose également d'une lentille de projection transversale pour une précision accrue. L'étage mobile avancé est conçu pour déplacer la plaquette en douceur à travers la surface de la lentille, offrant un haut degré de précision et de répétabilité. L'étage peut être programmé avec une gamme de paramètres, lui permettant d'effectuer des mouvements précis et d'atteindre les distances de travail souhaitées tout en fournissant le temps d'exposition requis. Des systèmes de commande avancés sont utilisés pour assurer un positionnement précis de la plaquette. NIKON NSR-2205I11D est équipé de plusieurs caractéristiques de sécurité et de maintenance qui garantissent sa fiabilité et sa longévité. Sa conception ergonomique réduit la fatigue des opérateurs et sa machine de rappel de maintenance intégrée permet de réduire les temps d'arrêt. Le pas de plaquette intègre également un outil de gestion environnementale, de surveillance et d'enregistrement des niveaux de température et d'humidité pour protéger les composants contre les dommages. NIKON a conçu NSR 2205I11D pour fournir des images de haute qualité et haute résolution. Son atout d'éclairage avancé et son étage mobile garantissent des images précises et uniformes, tandis que ses caractéristiques de sécurité et d'entretien garantissent des performances fiables et durables. NSR 2205 I 11 D convient aux applications de lithographie, d'inspection et de métrologie des wafers dans les installations de fabrication de semi-conducteurs.
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