Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9284006 à vendre en France
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ID: 9284006
Style Vintage: 1995
Stepper
Temperature: 23°C
Chamber type: ASAHI N2A
NA Variable system
Reticle size: 6"
Field size maximum: 22 mm
Reticle barcode reader
Reticle case, 6"
Wafer: Notch, 8" (6C)
Pre alignment 2
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
Wafer carrier table: Left, right
Alignment sensor: LSA, FIA
Rack type: Normal
Body OP ruck cable: 3m
Lamp power: 2 kW
Illumination: SHRINC3
No PPD
No reticle SMIF
No in-Line
No extend R library
No signal tower
No wafer edge exposure
1995 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D est un deux faisceaux, deux pas de champ pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme. Il est capable de produire des motifs géométriques critiques, mais très précis avec une haute résolution de 0,2 μ m. NIKON NSR-2205I11D dispose d'un équipement optique interférométrique multi-ouvertures, avec un système optique compact à haut NA pour obtenir la plus haute résolution possible. Son unité optique utilise des miroirs, des lentilles et un illuminateur courbe pour façonner avec précision la forme d'énergie pour une détection optimisée des motifs. Cette machine comprend également deux caméras linescan, qui ont une taille de pixel de 0,13 μ m et un ensemble d'algorithmes de traitement binaire de bas niveau pour minimiser le temps de calcul et minimiser l'impact sur les temps de cycle de production du dispositif. L'étage de wafer de NSR 2205I11D est conçu pour répondre aux exigences de haute précision, de grande vitesse et de faible bruit. L'étage linéaire est constitué d'un cadre en alliage d'aluminium et est conçu pour offrir la meilleure combinaison de rigidité, d'amortissement, de mouvement non linéaire et de stabilité. Un moteur magnétique embarqué alimente l'étage et possède des caractéristiques particulières telles que la modulation de largeur d'impulsion et l'auto-compensation en temps réel. Cet atout moteur magnétique est combiné à un couplage cinématique avancé et à des mécanismes d'engrenage pour un alignement précis du faisceau. Le mécanisme de balayage à double longueur d'onde de NIKON NSR-2205 I11D contient à la fois un large spectre (UV à Visible) et un spectre étroit (UV), offrant une plus grande précision et un fonctionnement plus efficace. NSR 2205 i11D a une grande précision de balayage, permettant un positionnement et un contrôle précis de la plaquette dans une ligne de production de semi-conducteurs. De plus, le pas est équipé d'un obturateur à grande vitesse pour éviter que les aberrations de motifs de plaquettes ne soient causées par une diminution de l'intensité de luminosité. NSR-2205 I11D est convivial et offre un entretien facile grâce à un large choix de paramètres de processus et de connectivité Ethernet. Comparé aux steppers classiques, ce modèle est plus fiable, car il contient des caractéristiques d'alignement automatique et peut être utilisé à la fois manuellement et à distance. De plus, son modèle d'autodiagnostic intégré permet d'observer en temps réel des informations telles que la tension d'alimentation, l'intensité d'éclairage et la composition spectrale, notifiant l'utilisateur en cas d'erreur. Dans l'ensemble, NSR 2205I 11D impulse des motifs à haute résolution sur la plaquette, en installant une filière plus petite en très peu de temps grâce à sa technique de balayage à double champ. Son optique haute résolution et son équipement de contrôle avancé assurent un fonctionnement synchronisé et une production précise, ce qui le rend idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme.
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