Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9359229 à vendre en France
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ID: 9359229
Taille de la plaquette: 2"-8"
Style Vintage: 1995
Stepper, 2"-8"
Wafer stage: Chuck, 8"
Chuck type: Ring type
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Chamber: ASAHI N2A
Main computer:
Hard Disk Drive (HDD): DKA200, DKA300
Storage drive: DAT Drive (MKA 500)
Illumination type:
Shrinc type: 3
Revolver type: Conv, Ann, Small
Wafer loader, 8"
Loader type: 2 (A3)
OF Type: Flat
In line type: Right
Cassette: Left, right
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Lens data:
Lens controller
Lamp power (>650 mW / cm²): 619.047
Illumination uniformity (<2%): 0.75%
Stepping accuracy (<0.050 µm): 0.020/0.022
DIS (Within ±0.050 µm):
X (Min): 0.023um
X (Max): 0.039um
Y (Min): -0.036um
Y (Max): 0.037um
INC (<0.35 µm): 0.245 um (Max-Min)
AST (<0.25 µm): 0.002 um
UL-LR (Within ±0.2 µm): -0.001 um
UR-LR (Within ±0.2 µm): -0.051 um
1995 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D est un pas d'immersion avancé doté d'une qualité d'image supérieure, d'une productivité élevée et d'une meilleure stabilité du procédé. Avec une taille de champ de 5,0 x 5,0 mm, il est conçu pour être utilisé dans des applications de fabrication de dispositifs sub micron. Cet équipement autonome intègre à la fois des technologies de scanner pas à pas et d'immersion permettant un contrôle optimal des processus. Le système est équipé d'une optique d'immersion 4K haute vitesse pour obtenir une qualité d'image supérieure. Il utilise un générateur de motifs laser leader mondial pour optimiser la taille et le contraste des fonctionnalités. L'unité est construite avec une architecture de traitement de données dédiée aux plaquettes pour permettre un transfert rapide de motifs et des temps de balayage courts. Il dispose également d'un moteur de traitement d'image dédié pour permettre une inspection à haut débit. NIKON NSR-2205I11D est conçu pour offrir une productivité élevée et une meilleure stabilité des processus. Il a une capacité intégrée litho-etch-litho-etch (LELE) pour permettre plusieurs couches de photolithographie simultanées. Il est compatible avec une large gamme d'éléments optiques incluant des lentilles d'immersion à ouverture numérique élevée, des lentilles d'éclairage annulaires et des systèmes d'éclairage hors axe. La machine dispose également de fonctions intégrées de piquage de champ d'exposition et de motif d'exposition pour permettre une détection rapide des plaquettes et des temps d'exposition rapides. NSR 2205I11D est également équipé d'une option de transmission rapide en Z qui réduit encore plus le temps d'exposition. Il est équipé d'un joystick et 6 axes étage motorisé pour l'alignement précis et le contrôle de l'exposition. NSR-2205 I11D est un pas de plaquette de haute productivité rentable et fiable pour l'industrie de fabrication de dispositifs de sous micron. L'optique avancée et l'imagerie permettent une qualité d'image supérieure et la stabilité du processus même pour les processus de fabrication les plus difficiles. En outre, ses fonctions de traitement des données d'usine à grande vitesse et d'exposition à la puissance en font un outil hautement fiable et rentable pour toute fabrication de plaquettes.
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