Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9364624 à vendre en France
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ID: 9364624
Taille de la plaquette: 2"-6"
Style Vintage: 2010
Steppers, 2"-6"
2010 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper est un stepper de précision qui offre une gamme de capacités pour l'industrie des semi-conducteurs. Le pas a une taille de plaquette automatique de 12 "de 200 mm à 300 mm avec une épaisseur de plaquette maximale de 0,3 mm et un recouvrement de 0,25 mm. L'équipement a une vision haute résolution mise en place avec un générateur motorisé N2/O2 intégré dans le stocker et a un étage de portage d'air. Le système a également la capacité de traiter plusieurs applications de conception et comprend la protection N2/O2, la fonction de chauffage, et la marque laser appliquée sur les plaquettes. NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper offre une excellente précision de prise d'image et des capacités d'imagerie haute résolution avec ses caméras CCD doubles. Le capteur d'image propriétaire utilise deux caméras CCD 2048 x 2048 pixels pour un excellent contraste, une précision colorimétrique et une résolution de 0,2 micromètre ou mieux. Il permet également une rotation en rotation pour que les côtés avant et arrière de la plaquette puissent être imagés simultanément. NSR 2205I11D Wafer Stepper est également livré avec une machine d'alignement de haute précision. L'outil a un total de 8 inscriptions sur 5 marqueurs optiques dans un atout double caméra et une précision de 0,11 micromètre à partir du point d'enregistrement 1mm. Le modèle a également une conception optique unique pour assurer des mesures précises sur les différentes tailles de champ. NIKON NSR-2205 I 11 D Wafer Stepper dispose également d'un équipement d'exposition de haute précision. Ce système est doté d'un mécanisme d'obturation/détecteur performant et intègre une technologie d'éclairage innovante pour garantir une uniformité adéquate de l'irradiation d'exposition et une uniformité de l'épaisseur de la couche. Cette unité fournit également un obturateur à longue durée de vie qui assure une précision d'image maximale. NSR-2205 I 11 D Wafer Stepper comprend également une machine de projection de haute précision. Cet outil est équipé d'un miroir d'éclairage à 5 zones, permettant 5 ouvertures numériques différentes de 0,6 à 0,9. L'actif a un ajustement à 6 axes comprenant un ajustement fin des trois axes avec une résolution de sous-micron pour une compensation précise de la focalisation et de l'astigmatisme. Dans l'ensemble, NSR 2205I 11D Wafer Stepper est un modèle très précis offrant d'excellentes capacités de captage d'images, d'alignement de plaquettes, d'exposition et de projection. L'équipement est idéal pour la production de motifs de niveau micron sur des substrats ultra-minces et permettant une production efficace de dispositifs et composants semi-conducteurs avancés.
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