Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9383687 à vendre en France
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ID: 9383687
Style Vintage: 1996
Stepper
Leveling incidents
NEST-V
Missing parts:
HLIB-IF Substrate
Inline front arm unit
Inline rear arm unit
Shutter unit
Bellows unit
STG Power supply
WL Power supply
RL Power supply
ALG Power supply
LC Power supply
OPD Power supply
ISS High voltage power supply
1996 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D est un pas de plaquette bien connu utilisé pour la photolithographie. C'est l'un des outils de production les plus avancés pour les fonderies de semi-conducteurs et les microfabrications. L'appareil est équipé d'une conception à double chambre et d'une optique de pointe qui garantissent une résolution haut de gamme jusqu'à 1 µm. NIKON NSR-2205I11D est équipé d'une fonction d'auto-alignement avancée qui permet une précision de placement des plaquettes de haute précision. Il permet également d'échanger rapidement des plaquettes et de minimiser les erreurs de recouvrement. De plus, l'outil possède une fonction de compensation ambiante qui aide à stabiliser les performances de la lithographie dans un environnement changeant. L'appareil est équipé d'un interféromètre laser à large portée en ligne qui fournit une précision de plein champ. Il comprend également un moniteur adressable micro-pixel qui aide à diagnostiquer et à surveiller les variations dans les résultats de balisage au fil du temps. Le dispositif est également capable d'exécuter plusieurs réticules et peut être utilisé pour les opérations à une et à deux couches. Le MENÉ de l'appareil est équipé avec un anneau se concentrant et son illuminance est réglable à 0.25 mW/cm2 pour l'illumination homogène. Ce moteur léger offre une homogénéité supérieure et de petites tailles de champ allant jusqu'à 5µm. La source lumineuse peut fonctionner dans ± 0,6 % de l'énergie cible, minimisant ainsi les erreurs de détection et éliminant le risque d'erreurs de hauteur de pas verticale. NSR 2205I11D utilise la dernière technologie ESEDRF (Enhanced Spectrum Emission Diffraction Reduction Filter), ce qui permet d'améliorer la qualité de l'image et d'approfondir la mise au point. Le dispositif utilise également un logiciel de correction de champ transversal unique qui aide à réaligner les motifs transférés dans la même direction et la même profondeur de champ. Dans l'ensemble, NSR 2205 I11 D est un pas de plaquette avancé et puissant qui est idéal pour la production de circuits intégrés électriques et optoélectroniques. C'est le choix idéal pour la lithographie et la microfabrication les plus exigeantes.
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