Occasion NIKON NSR 2205 i12C #293603489 à vendre en France
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ID: 293603489
i-Line stepper
Lens distortion: Standard measurement
Reticle blind setting accuracy
Focus calibration repeatability: 20 times measurement
Exposure power (N.A=0.57): Mercury lamp
Integrated exposure control accuracy (N.A=0.57): i-line IR-Radiance meter
Alignment accuracy FIA: FIA-EGA (Standard measurement)
Alignment accuracy LSA: LSA-EGA (Standard measurement)
Array orthogonality: Standard measurement
Stepping precision: Standard measurement
Wafer pre-alingnment repeatability: Single wafer, 20 times measurement
Illumination uniformity (N.A=0.57): 5 times measurement within the exposure area
Resolution, 0.4 µm:
L/S Conv NA: 0.57
CE V/H: 0.40
PR Film thickness: <1.0 µm
DOF: 0.45 µm:
5-Points V/H: 0.40 µm
PR Film thickness: <1.0 µm
CD Uniformity, 0.45 µm:
5-Points V/H: 0.40 µm
PR Film thickness: <1.0 µm
Coma, 0.45 µm:
5-Points V/H: 0.40 µm
PR Film thickness: <1.0 µm
Total Focus Deviation (TFD), 0.45 µm:
L/S Conv N.A: 0.57
Standard measurement
Astigmatism (AST):
Deviation L/S Conv
Standard measurement
Lens inclination, 0.50 µm:
L/S Conv N.A: 0.57
Standard measurement
Lens control accuracy (Initial):
Heating: 150 min
Cooling: 180 min
Operation test:
Wafer system
Reticle.
NIKON NSR 2205 i12C est un pas de plaquette en douze étapes utilisé pour fabriquer avec précision et efficacité des puces semi-conductrices. Il est équipé d'un équipement d'alignement laser intégré, permettant une fabrication de puce de haute précision avec un minimum de perte de temps et de matière. L'étape est particulièrement adaptée à la réalisation de puces nécessitant une grande précision, telles que celles utilisées dans les dispositifs à grille optique ou à broches. L'équipement bénéficie d'une conception économe en énergie et d'une capacité de débit élevée, permettant ainsi une production rapide de puces de haute qualité. Le système d'alignement laser accélère encore le processus, éliminant la nécessité de régler manuellement l'alignement de la plaquette. Il en résulte une production plus rapide de copeaux, évitant la nécessité d'étapes de traitement supplémentaires pour garantir des produits finis de haute qualité. Le stepper dispose d'une unité optique lumineuse avancée avec une résolution de 0,25 microns, permettant la production de lignes étanches et la production de puces avec des caractéristiques tridimensionnelles avancées telles que des surfaces étagées. La machine optique est connectée à un ordinateur principal avancé et des moteurs de précision, assurant une production de puce de haute précision. Le stepper est en outre équipé d'un design de réticulation avancé, fournissant des niveaux de précision sans précédent même lors du traitement de différentes recettes de résistance. En permettant à l'étape de traiter avec précision différentes recettes simultanément, le temps de production est minimisé. Dans l'ensemble, NIKON NSR-2205I12C est un excellent choix pour la production de semi-conducteurs. Il offre un niveau de précision extrêmement élevé, même lorsqu'il s'agit des applications les plus exigeantes, et sa conception économe en énergie se traduit par une production rapide de puces de haute qualité. Ce stepper est l'outil parfait pour la production de puces haut de gamme, ce qui se traduit par de meilleurs rendements et des coûts moindres.
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