Occasion NIKON NSR 2205 i12D #293601857 à vendre en France
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ID: 293601857
i-Line stepper
Resolution: 0.35 µm
UDOF: ≥ 0.6 µm
CD Uniformity: ≤ 50 nm
Focus calibration repeatability: 3 Sigma ≤ 0.1 µm
Lens distortion: Within ±50 nm
Maximum area: 22 x 22 mm
Reticle blind setting accuracy: 0.4 to 0.8 mm
Exposure power: ≥ 600 mW / cm²
Integrated exposure control: Within ±1%
Illumination uniformity: Within 1%
Reticle rotation: Within 20 nm
Absolute value
Repeatability
Overlay accuracy:
ISA-EGA: 3 Sigma ≤ 65 nm
FIA-EGA: 3 Sigma ≤ 65 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 sec
Stepping precision: 3 Sigma ≤ 50 µm
Operational test: 99.5% Success rate
Wafer system: 100% Success rate
Reticle
Wafer pre alignment: 3 Sigma ≤ 15 µm
Focus stability: ≤ 0.6 µm
Magnification error: Within 15 nm
Stepping rate: 27 sec
Throughput:
ISA-EGA: 25 min 25 sec / less
FIA-EGA: 30 min 25 sec / less
INC: ±0.35 µm
Astigmatism total focus deviation 0.35 µm L and S: ≤ 0.3 µm
Field curvature: ≤ 0.3 µm
Chip leveling accuracy: Within ±1.5 sec.
L'équipement d'étape NIKON NSR 2205 i12D est le dernier en date de la gamme NIKON de wafer steppers avancés à haute résolution. Offrant un niveau de capacité sans précédent, le système combine un débit de haute résolution avec une unité pas à pas entièrement intégrée et de haute précision. Cet étage, qui a été conçu pour les besoins avancés de processus de lithographie, dispose d'un rapport d'aspect de balayage de 12 pouces (SAR) inégalé qui lui permet de produire des motifs d'imagerie avec un niveau élevé de précision et de répétabilité à une résolution allant jusqu'à 5 microns. La machine pas à pas NIKON NSR-2205I12D est capable de fournir une précision d'imagerie, une répétabilité et des vitesses de débit supérieures avec le progiciel de technologie NIKON de pointe qui intègre des lentilles de haute précision, une optique avancée et des conceptions d'éclairage avancées. Son utilisation de matériaux composites avancés fournit une capacité robuste, répétable de balayage et de maintien de plaquettes qui est en mesure de gérer des expositions à haute vitesse allant jusqu'à 15 000 expositions par heure dans différentes tailles de balayage. En outre, NSR-2205I 12D a été conçu avec l'utilisateur à l'esprit, ce qui en fait à la fois un outil avancé et convivial à utiliser. Une interface simplifiée et conviviale et une ergonomie d'opérateur améliorée améliorent la productivité et la facilité d'utilisation des utilisateurs. NSR 2205 I12 D a également été conçu en tenant compte des besoins des procédés à haut rendement. Il dispose de systèmes de contrôle d'imagerie avancés et de technologies de contrôle des processus de lithographie de pointe permettant une gestion efficace et rentable des processus d'imagerie. NSR-2205I12D dispose également d'une technologie avancée de manutention des plaquettes pour s'assurer que les plaquettes à surfaces rugueuses, comme les plaquettes Si, sont correctement manipulées, ce qui contribue à maximiser le rendement. Il est également livré avec une suite de systèmes de métrologie de haute précision, donnant un contrôle total sur le processus de lithographie. Enfin, NIKON NSR 2205 I12 D est équipé de diverses fonctionnalités avancées, telles qu'une fonction d'alignement automatique et la capacité de traiter une large gamme de substrats et de matériaux, ce qui en fait un excellent choix pour les applications de traitement de plaquettes haut de gamme. Dans l'ensemble, NSR-2205 I12 D est un excellent choix pour ceux qui cherchent à maximiser leur débit de processus lithographique et leur précision. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, il est un modèle fiable, précis et robuste qui est sûr de répondre à tous vos besoins de numérisation haut de gamme.
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