Occasion NIKON NSR 2205 i12D #293606678 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 i12D
ID: 293606678
Taille de la plaquette: 6"-8"
i-Line stepper, 6"-8".
NIKON NSR 2205 i12D wafer stepper est un équipement lithographique de pointe conçu pour les plus hauts niveaux de performance et de fiabilité. Le système utilise des technologies d'éclairage i-Line et DUV exclusives pour fournir une résolution moyenne, un débit élevé et une précision extrême pour la fabrication de plaquettes de pointe. Le stepper fournit à la fois haute résolution de champ et haute gamme dynamique d'imagerie pour assurer des performances de lithographie optimales sur toute la gamme des étapes de processus. La conception de l'unité d'éclairage utilise à la fois un laser IR et un éclairage à large bande avec un design de détecteur exclusif pour fournir une imagerie uniforme sur toute la gamme de flux lumineux d'exposition. La conception brevetée du laser et l'approche optique spéciale minimisent les erreurs de longueur d'onde et de focalisation de l'imagerie DUV et i-Line. La conception intégrée du stepper permet un processus de gradation entièrement automatisé. L'architecture de commande CCD assure un contrôle précis du déplacement de la plaquette à travers la machine de projection quadridimensionnelle i-Line pour assurer un fonctionnement à haut débit. L'utilisation de deux contrôleurs, d'une carte EDB intégrée et d'un logiciel de compensation intégré garantit des conditions de faible particules et une grande précision de suivi. Le stepper est compatible avec une variété de matériaux de plaquettes et de recettes de traitement, grâce à un design polyvalent qui offre diverses fonctionnalités de type motif. Le traitement I-Line est rendu possible dans l'outil par l'utilisation d'un objectif à haut rendement avec correction d'aberration et un atout optimisé de contrôle du flux lumineux pour assurer la précision du positionnement des bords. De plus, le modèle est capable de supporter des processus de lithographie haute densité, plein champ et une grande précision d'alignement avec un algorithme autofocus. NIKON NSR-2205I12D wafer stepper comprend également une large gamme de caractéristiques de sécurité, y compris la technologie anti-statique, l'injection d'azote, et des emboîtements pour un fonctionnement sûr. L'équipement prédictif intégré de détection des pannes et d'arrêt final assure la protection du pas et de ses composants contre tout dommage potentiel. En conclusion, NSR-2205I 12D wafer stepper offre des performances lithographiques avancées, une imagerie haute dynamique et une compatibilité polyvalente de type motif. Sa conception intégrée offre un haut débit, un fonctionnement à faible teneur en particules et une précision d'alignement élevée. En outre, ses caractéristiques de sécurité, y compris l'injection d'azote et la technologie antistatique, offrent une protection supplémentaire pour le système et ses composants.
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