Occasion NIKON NSR 2205 i12D #9092552 à vendre en France
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Le NIKON NSR 2205 i12D est un pas de plaquette avancé doté d'un système de fixation de haute précision et d'une productivité supérieure. NIKON NSR-2205I12D est un marchepied d'imagerie avancé utilisant une technique d'imagerie « descendante » et « transversale », ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications telles que les appareils IC et les cartes de circuit. Doté de multiples tailles de champ, ce stepper supporte une large gamme de substrats allant du glas ultra fin (UTG) et du verre fin (TG) aux substrats à faible éclairement. Sa capacité de génération de largeur de fente variable fournit une exposition précise, ainsi qu'une haute précision dans les largeurs de ligne et les profondeurs jusqu'à 0,3 μ m. Le pas de plaquette est équipé d'un système optique de projection haute performance comprenant deux lentilles et huit miroirs. Le système est conçu pour un mouvement rapide, lisse et une excellente précision de placement. Il permet également une modélisation à double champ qui demande moins de temps et moins d'opérations par rapport aux techniques à champ unique. NSR-2205I 12D dispose également de systèmes de contrôle avancés avec un support de performance et une manipulation FOUP, ainsi que d'un balayage à grande vitesse de 45nm pour assurer le débit le plus élevé. Il est également équipé de la visualisation de données de motifs pour rendre les évaluations de l'uniformité du substrat simples et fiables. En outre, il offre une gamme complète de fonctions de pré-alignement, d'alignement et d'examen. Les autres caractéristiques de NIKON NSR-2205 I12 D comprennent un étage de 300mm, un espace de chargement de 160mm, une vitesse de positionnement maximale de 15.000 pas par seconde et une précision maximale de ± 1 μ m. Le pas de plaquette est également équipé d'auto-centrage pour s'assurer que les substrats sont toujours correctement positionnés pour l'exposition. Le NSR 2205 I 12 D est conçu pour un large éventail d'exigences de production et offre une productivité, une efficacité et une précision accrues pour un tissage de haute précision. Doté d'une haute capacité d'évaluation à double champ, ce stepper est idéal pour une gamme d'applications allant des microprocesseurs aux disques durs, en passant par la fabrication MEMS et LED.
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