Occasion NIKON NSR 2205 i12D #9225157 à vendre en France
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ID: 9225157
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Stepper, 8"
Electric source: Nema box, i-line
Chamber type: ASAHI N2E-A
Reticle size, 6"
NIKON Reticle library: 10-Slot
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle bar code reader
Reticle case, 6"
Wafer size, 8" Semi
Wafer type: Flat zone
Wafer chuck, 8"
Pre-alignment 2: 8"
Wafer loader: Type2 (A3)
Chip leveling
No in-line
Wafer carrier table: Left / Right, in-line
Alignment sensor: LSA / FIA
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517C Laser
LSA Laser: 5 mW
NIKON OF Detection
Rack type: Right
Body-OP Rack cable: 3 m
Lamp power: 2 kW
SHRINC 3
VAX 4000/96
DAT Drive
CRT Monitor
Lens data
NIKON Hard Disk Drive (HDD)
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D est un pas de plaquette de milieu à haut de gamme qui est utilisé pour la fabrication de motifs et la fabrication dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil puissant pour la lithographie, avec une taille de champ de 12 pouces, une capacité de manutention des plaquettes de 400mm et 355nm de longueur d'onde disponible pour l'exposition. Il offre la haute précision et la résolution des performances d'imagerie i12, ainsi que des capacités HFR (High Frame Rate) qui dépassent les normes actuelles de l'industrie. NIKON NSR-2205I12D dispose également d'une source lumineuse Bruker intégrée, permettant une exposition au champ de balayage avec un courant de faisceau élevé de 30mA. NSR-2205I 12D est un véritable système d'exposition au niveau des plaquettes, conçu pour faire face au nombre et à la complexité croissants des dispositifs en cours de développement dans l'usine aujourd'hui. Avec 12 tailles de champ, il offre des temps de passage réduits et une uniformité d'exposition améliorée. Il dispose également d'une architecture système modulaire qui permet l'ajout ou la suppression de modules ou de composants au fur et à mesure que les besoins de l'utilisateur changent. NSR-2205 I12 D a beaucoup d'autres fonctionnalités qui en font un outil puissant pour les applications quotidiennes de production. Il offre des cadences élevées pour l'exposition rapide des appareils, ainsi que des options d'économie d'énergie très efficaces. Le NSR 2205 I 12 D dispose également d'un module d'éclairage avancé qui dispose d'une source lumineuse Brüker intégrée et d'un module de contrôle d'exposition avancé avec un système de régulation du courant et de modulation de l'exposition de la lampe variable. NSR-2205 I12D est livré avec le logiciel de contrôle haut de gamme et le firmware, qui permet à l'utilisateur de reprogrammer facilement les modèles et les paramètres d'exposition pour chaque exposition. De plus, l'utilisateur peut choisir entre cinq modes d'exposition avec des vitesses d'exposition ou de modulation différentes. En outre, il est livré avec une large gamme d'optiques à mettre en œuvre, y compris des motifs tels que des lentilles de correction rayscan, des optiques d'exposition de ligne et des portes de plaques. Pour la maintenance, le NIKON NSR 2205 I 12 D offre également une surveillance et un fonctionnement du système à distance, qui permet à l'utilisateur de surveiller à distance les statuts et les défaillances. Ceci est particulièrement utile dans les environnements de production, et contribue à minimiser les temps d'arrêt tout en augmentant la productivité. En conclusion, NSR 2205 I12 D est un outil idéal pour la lithographie dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec son imagerie puissante, ses capacités à grande vitesse et sa conception modulaire, il fournit un outil puissant pour des modèles de production efficaces. De plus, sa source lumineuse Bruker intégrée et sa large gamme d'optiques garantissent que toutes les expositions peuvent être réalisées avec précision, fiabilité et précision.
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