Occasion NIKON NSR 2205 i12D #9238335 à vendre en France
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ID: 9238335
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Steppers, 8"
Lamp power: About 500 mW
Uniformity: 3.6%
NA Variable system: 0.63 δ
Reticle size, 6"
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 x 22 mm
Reticle SMIF
Extender library: Left to right
Reticle case, 6"
Wafer type: Notch
Wafer chuck, 8"
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment 2: Notch, 8"
Pre alignment 2: Hammer, 6"
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line: Left
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: FIA (No wafer alignment assist microscope / LSA)
Rack type: Normal
Body-OP rack cable: 3m (Normal)
No wafer edge exposure
SHRINC: Type 1, 2, 3
No signal tower
No power meter / Test reticles (A,DIS,C,CD,MF)
No reticle cases
No remote controller
Chamber: ASAHI
Chamber temperature: 23.0°C
Hard disk drive (HDD)
Electric source with NEMA box 2-Lines for CVCF / UPS
1997 vintage.
Le NIKON NSR 2205 i12D est un équipement d'analyse et d'exposition à haute performance conçu pour répondre aux besoins des fabricants d'appareils de pointe. Ce dernier modèle de la série NSR est conçu pour permettre un alignement de haute précision et une exposition répétable précise. Utilisant un système optique récemment conçu et une interface de moteur et de codeur ASMLMD intégrée, NIKON NSR-2205I12D offre des performances répétables élevées et un débit inégalé. NSR-2205I 12D est capable d'exposer des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre et a une ouverture numérique (NA) de 0,6, lui donnant une résolution améliorée et une répétabilité de tir à tir de ± 0,5µm. Pour une précision et une fiabilité accrues, l'unité utilise une machine à lentilles numériques à diffraction limitée avec pupille étagée qui élimine les distorsions, les aberrations optiques et les torches de lentilles pour une uniformité maximale. En outre, son outil d'alignement actif avancé réalise jusqu'à 295 000 points d'alignement avec une précision de 0,25 micromètre, fournissant ainsi un alignement parfait de l'appareil. L'actif utilise également le modèle de contrôle « baignoire » breveté NIKON pour contrôler divers éléments tels que la température de la lentille, l'épaisseur du film et la précision du motif. D'autres caractéristiques de NSR 2205 i12D comprennent la capacité d'autofocus, l'étalonnage automatique et un moniteur à contraste élevé qui offre une fenêtre de visualisation améliorée pendant l'inspection et l'alignement des plaquettes. En plus de fournir des performances supérieures, NSR-2205I12D est également équipé d'une interface utilisateur robuste qui permet aux utilisateurs de sélectionner facilement parmi une large gamme d'options d'exposition et d'alignement. Il est également conçu avec un ensemble d'erreurs communes comme les erreurs de particules et la variation de focalisation qui peut être facilement compensé et ajusté avec l'équipement. Toutes ces fonctionnalités font de NIKON NSR-2205I 12D un choix idéal pour les fabricants d'appareils qui exigent de la précision et un débit rapide. Ses performances exceptionnelles et son interface conviviale font de ce pas de plaquette l'un des meilleurs du marché.
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