Occasion NIKON NSR 2205 i12D #9300305 à vendre en France

NIKON NSR 2205 i12D wafer stepper est un premier outil de lithographie conçu pour réaliser des circuits de dimensions aussi petites que 12 nm de longueur de grille. L'équipement intègre un étage avancé de douze axes pour obtenir une précision de position et une répétabilité nano-échelle maximales. Il a une vitesse maximale de déplacement de 200 mm/s et une précision de positionnement de 6 nm. Il est équipé d'une technique unique d'imagerie sans lentille qui utilise une combinaison d'un « interféromètre à étage haute résolution » et d'un ensemble de « projections interactives laser-diode » pour la lithographie. Cette combinaison permet une imagerie plus précise et précise à des tailles de fonctionnalités plus fines, lui permettant d'atteindre une précision de 60 lignes et de résolution spatiale à un noeud de processus de 10 nm. NIKON NSR-2205I12D utilise un étage XY à balayage haute précision et haute vitesse qui permet d'assurer une précision de recouvrement inégalée dans l'ensemble de la plaquette. Une fonction scatteromètre intégrée détecte efficacement les variations topographiques sur la surface de la plaquette, permettant de générer des dispositifs plus performants qui nécessitent une très faible distorsion et défectivité. Le système a une haute-reflectance unité d'irradiation à laser maximale menant l'industrie de 10 kW pour plus vite, une plus haute précision reflétante à travers la gaufrette entière, en y permettant d'accomplir la productivité maximum et la performance d'appareil excellente. Pour maximiser le débit et obtenir une uniformité de pointe dans l'industrie, la poutre peut être divisée en poutres multiples tout en préservant des performances constantes sur l'ensemble de la plaquette. NSR-2205I 12D wafer stepper dispose également de marqueurs d'alignement intégrés pour améliorer encore les performances du dispositif et réduire la défectivité, ainsi que d'une architecture de machine conviviale avec une automatisation avancée. Une suite graphique intuitive de logiciels de contrôle prend en charge la modélisation OPC ainsi que des applications de lithographie avancées. Pour garantir la facilité d'utilisation et des performances fiables, l'outil est également livré avec une large gamme d'outils d'assurance de processus et de métrologie. Il dispose également de plusieurs modèles avec différentes configurations, ce qui le rend adapté pour des plaquettes de différentes tailles et matériaux. En plus de ces fonctionnalités, NSR-2205I12D wafer stepper est également livré avec une gamme d'options de service telles que l'installation rapide, la formation, et le support. Cela permet des performances et une fiabilité inégalées, ce qui en fait le choix idéal pour les applications de lithographie de précision pour les procédés de petite dimension.