Occasion NIKON NSR 2205 i12D #9389868 à vendre en France
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NIKON NSR 2205 i12D est un pas de plaquette utilisé pour la lithographie de projection haute précision et haute résolution. L'équipement peut être configuré avec une large gamme de lentilles interchangeables, composants optiques et paramètres d'exposition, lui permettant de répondre aux exigences d'une variété d'applications. NIKON NSR-2205I12D utilise une étape et une étape de balayage de 12 pouces (300 mm) de grande précision et de grand format. Cette étape permet une précision et une résolution supérieures dans le processus de lithographie de projection. NSR-2205I 12D est capable de plaquettes de 4 à 6 pouces (100 à 150 mm) avec des champs d'imagerie jusqu'à 36 mm x 36 mm, des plaquettes de 12 pouces (300 mm) jusqu'à 43 mm x 43 mm, selon l'objectif utilisé. Ce stepper dispose d'une longueur de linewidth 0,75 nm et une résolution de 12nm, ce qui permet des tailles de fonctionnalités extrêmement précises. Le système est équipé d'une unité interférométrique multicouche de contraste élevé qui fournit une imagerie de haute qualité de toutes les couches appliquées. La machine est également conçue pour des temps d'exposition rapides et une faible pollution par les particules, grâce à un outil de filtrage de l'air de pointe avec un actif de dépôt assisté chimiquement (CAO). Afin de maximiser la répétabilité des processus et de minimiser les micro-défauts, NIKON NSR-2205 I 12 D comprend un ensemble de systèmes d'alignement. Le stepper utilise un modèle d'auto-alignement intégré pour aligner rapidement la géométrie des plaquettes et un équipement de recouvrement cercle sur cercle pour assurer la précision critique de l'alignement. NIKON NSR-2205 I12D est un pas de plaquette puissant et fiable capable d'obtenir une lithographie extrêmement précise. L'unité est équipée de tous les composants nécessaires pour répondre aux exigences d'une variété d'applications, ce qui la rend apte à la production à grande et petite échelle. Avec son excellente résolution, sa précision élevée et sa gamme d'outils d'alignement, le NIKON NSR 2205 I12 D est un excellent choix pour la lithographie de plaquettes.
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