Occasion NIKON NSR 2205 i14E #9223212 à vendre en France
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ID: 9223212
Taille de la plaquette: 8"
i-Line stepper, 8"
Main system:
Main body
Operation rack
Control rack
Non-SMIF system
PC: DMCC
Display: LCD Monitor
Halogen lamp: SE-025720-N1
PCB Boards:
Interferometer VME unit
LC Unit
ALG Unit
OPD Unit
STG Unit
S/G Unit
RL Unit
WL Unit
LSA Laser head: 3225H-PCN
Interferometer laser head: 5517C
Reticle indexer: Indexer R150
IU Power: 439 mW/cm³
Uniformity: 4.67%
TTL-FC2: 19 nm
Focus: 51 nm
TFD: 188 nm
Distortion maximum (X/Y): 14 / 20 nm
Distortion minimum (X/Y): -25 / -26 nm
Wafer flatness: 0.8 um
Local flatness: 0.3 um
LSA Translation:
X: -8 nm
Y: 5 nm
LSA 3sigma:
X: 55 nm
Y: 58 nm
FIA Translation:
X: -10 nm
Y: 1 nm
FIA 3sigma:
X: 55 nm
Y: 56 nm
Shot magnification: 0.39 ppm
Shot rotation: -0.376 urad
CIM Linked.
NIKON NSR 2205 i14E est un pas de tranche de haute précision conçu pour la production de photomasques. Les photomasques sont utilisés dans la fabrication de circuits intégrés et contiennent des éléments graphiques qui nécessitent un positionnement et un alignement précis. Ce stepper est équipé de deux lentilles optiques indépendantes et d'une caméra numérique qui permet l'imagerie de haute précision des champs individuels de plaquettes. NIKON NSR-2205I14E fournit une surface de balayage de 14 pouces. Ses options de lithographie double lui permettent de manipuler des longueurs d'onde alternées allant de 365 nm à 248 nm. Ses deux asphères ISI SEM LF importées offrent une résolution uniforme et une profondeur de focalisation. La capture d'image rapide permet une imagerie de haute précision de l'ensemble du champ de plaquettes et minimise les erreurs d'alignement de motifs avec son nouvel algorithme assisté par ordinateur. Le système intégré d'enlèvement de verre et de débris du stepper prévient la détérioration et la contamination du dispositif. Ceci assure une formation précise du dispositif et évite un retraitement coûteux des plaquettes. Le stepper comprend également des caractéristiques spécialement conçues qui réduisent la différence de hauteur du champ jusqu'à 1 µm, assurant une focalisation uniforme sur l'ensemble du champ stepper. NSR 2205 i14E est conçu pour maximiser les rendements tout en minimisant les coûts. Ses fonctions flexibles de correction et de recouvrement facilitent le réglage des pièces sur les composants correspondants. Sa conception durable et fiable, associée à des capacités de maintenance à long terme, permet à cet étage de fonctionner jusqu'à 444 heures sans service ni entretien important. Conçu et fabriqué selon les dernières normes de l'industrie, NSR-2205I14E offre des niveaux inégalés d'efficacité de fabrication de plaquettes. Ses capacités d'imagerie avancées, sa capture rapide d'images, ses performances robustes et son abordabilité en font un choix idéal pour toute installation de production de semi-conducteurs.
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