Occasion NIKON NSR 2205 i14E2 #293610268 à vendre en France
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NIKON NSR 2205 i14E2 est un équipement avancé de micro-lithographie de type immersion de 193 nm conçu pour la microfabrication ultra-précise à haut débit. Il offre une résolution maximale de 14 nm, une taille de champ image de 450 mm sur 450 mm, et une profondeur de focalisation étendue. Il dispose d'un système avancé de scanner et d'objectif qui assure le plus haut débit possible et fournit d'excellents résultats d'imagerie pour les réticules et l'alignement des masques, et un contrôle simple et intuitif. L'unité est équipée d'une optique de nouvelle génération i-line à haute sensibilité cohérente (CHSM), qui offre des performances optiques extrêmement élevées. Il dispose de fonctions brevetées d'adaptation du front d'onde, d'optimisation du front d'onde et de polarisation, ainsi que d'une machine d'alignement vertical améliorée pour la mesure de superposition de haute précision avec des plaquettes à proximité. L'outil dispose également d'un actif de cuisson post-exposition sous vide en ligne, qui prolonge la durée de vie des réticules et garantit une qualité d'imagerie cohérente et haute résolution. En plus de ses capacités d'imagerie, NIKON NSR-2205I14E2 est équipé d'une variété de fonctionnalités d'automatisation, y compris l'auto-alignement plein champ et l'auto-étalonnage intégré, des stratégies de patch d'imprimante bien améliorées, et un réglage avancé de l'emplacement du bord. Il offre également la possibilité de wafer l'image sur jusqu'à 16 sites simultanément. Le modèle est conçu pour être un équipement de lithographie fiable et répétable, ce qui le rend idéal pour la microfabrication à haut rendement. Enfin, NSR-2205 I14E2 est compatible avec les logiciels APC et ITOx, qui offrent de puissantes capacités de contrôle et de gestion des processus de lithographie. Avec ses vitesses de balayage rapides, d'excellents résultats d'imagerie et une large gamme de fonctionnalités d'automatisation, NSR 2205I 14E2 est un choix puissant et polyvalent pour les applications de pas de plaquettes de précision.
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