Occasion NIKON NSR 2205 i14E2 #293799874 à vendre en France

NIKON NSR 2205 i14E2
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 i14E2
ID: 293799874
Stepper.
NIKON NSR 2205 i14E2 est un pas de plaquette avancé conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une résolution jusqu'à 0,07 μ m et un débit ultra-élevé de plus de 4000 plaquettes avec une exposition plein champ à 22nm. L'équipement intègre une technologie d'imagerie de pointe et sa propre méthode d'exposition inter-champs (IFEM). Cela permet d'améliorer la précision d'alignement entre les champs, ce qui se traduit par des rendements plus élevés et une plus grande fiabilité du produit. De plus, NIKON NSR-2205I14E2 est équipé d'un mécanisme amélioré de recherche sur le terrain (FSE) qui aide à réduire les erreurs de placement des motifs dans la plaquette. Le puissant pas de plaquettes contient également une chambre à atmosphère contrôlée (CAC) pour fournir un environnement stable, ce qui aide à l'utilisation de matériaux sensibles. Il dispose également d'une grande table de chargement des plaquettes de 13 pouces et d'une plaque adaptatrice de 16 pouces pour un chargement précis et fiable des plaquettes. NSR-2205 I14E2 offre également des fonctionnalités avancées pour contrôler les réticules, ce qui augmente la précision du placement des motifs. Il dispose également d'un système d'alignement automatisé et précis, qui améliore la précision de l'exposition. De plus, l'unité intègre une machine automatisée d'inspection de la surface du masque qui aide à prévenir les défauts lithographiques. NSR-2205I14E2 contient en outre un port d'outil frontal et une large gamme de composants, qui permettent l'intégration et la connexion avec les systèmes externes. En outre, l'outil est équipé d'un outil automatisé d'inspection des défauts pour améliorer l'excellence des processus. Afin d'assurer un maximum de temps de disponibilité, NSR 2205 i14E2 dispose de logiciels et de matériel de diagnostic, de support de diagnostic à distance et de fonctions de maintenance préventive. Il est également équipé d'un contrôle automatique d'accès à l'outil, d'une suite complète de paramètres de processus d'image et d'un contrôle automatique d'exposition. En conséquence, ce pas de plaquette avancé offre des performances, une précision et une fiabilité supérieures.
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