Occasion NIKON NSR 2205 i14E2 #9210465 à vendre en France

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Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 i14E2
ID: 9210465
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Stepper, 8" Magnification: 1/5 Reduction Light source: i-Line (365nm) Resolution: 0.35um Variable Lens NA: 0.50~0.63 Variable Exposure filed size: 22mq (Up to 17.9H by 25.2V) Control: Bellows unit Lens adjust: Micrometer / PIEZO / Washer Lamp: 2.5kW Hg PC System hardware: Type: DMCC UPS: No Reticle size: 6" Reticle microscope: Fixed Alignment sensor: LSA FIA LIA: No TTLFC2 Illumination system: SHRINC4 Type Interferometer system: Interferometer type: 5517C Wafer stage Reticle stage Multi focus system Leveling system: Table Wafer loader: Type3 OF Type (2) Wafer cassettes Left in-line wafer (DNS) Wafer pre-align type: NC PRE2 Wafer edge exposure: No Reticle loader: Normal (3) Libraries / (30) Slots Barder reader Particle checker: (PPD3) Control rack: Type: Normal (Right) Cable length: Normal Signal tower: (4) Colors Chamber: ASHAHI N4A-C Double NEMA (CVCF) BATC / CATC / LLTC: 23.0 / 23.0 / 23.0 ° Missing parts: ALG A-504 PCB ALG A-505 PCB ALG A-506 PCB LLTC TEMP Sensor WL Robort arm WS X Linear AMP Piezo driver (A3, A4 PCB) Electrical power: 208V, 60Hz, 3 phase 2001 vintage.
NIKON NSR 2205 i14E2 est un pas de plaquette de pointe qui est conçu pour fournir des performances très précises et fiables pour les processus de fabrication d'appareils à haut volume. L'équipement offre des niveaux de résolution sans précédent, des performances supérieures et des fonctionnalités polyvalentes pour les applications de lithographie et d'imagerie répétée. NIKON NSR-2205I14E2 offre une large gamme de fonctionnalités pour garantir des performances de fabrication optimales. Il est équipé d'un puissant système de lithographie NSR-iF2 pour les procédés avancés tels que la surgravure et la gravure sèche. L'unité est équipée d'un moteur d'imagerie avancé qui offre une précision d'alignement bidimensionnelle et tridimensionnelle. Il dispose également d'une gamme de technologies avancées telles qu'un mécanisme de décalage vertical et une machine laser de niveau automatique de haute précision pour assurer un positionnement précis des photomasques et des plaquettes. L'outil est capable de produire des appareils avec une précision de ± 1nm et offre une image uniforme - même sur les appareils de grande surface. Il est conçu pour être compatible avec une variété de langages et de substrats tels que le silicium amorphe, le silicium cristallin, le germanium et l'arséniure de gallium. L'actif est capable de traiter des dispositifs de grande surface jusqu'à une taille maximale de 10 000 mm ². Il offre une profondeur de focalisation étendue, permettant une pénétration plus profonde dans les couches de substrat, offrant une plus grande flexibilité pour la convergence des procédés. Le modèle est également équipé d'un équipement de focalisation automatique, qui ajuste rapidement et facilement la position de focalisation pour assurer une qualité d'image supérieure à chaque exposition. Le système est conçu avec une interface utilisateur intuitive avec des menus dédiés pour les paramètres de processus, l'information des plaquettes et le diagnostic de l'unité. Il offre un contrôle complet de la machine avec une surveillance et un contrôle en temps réel des systèmes optiques et d'alignement des substrats. L'interface conviviale permet également à l'utilisateur de modifier facilement les paramètres, de modifier les paramètres d'exposition et de stocker plusieurs recettes pour une flexibilité et une efficacité maximales. NSR-2205 I14E2 bénéficie d'un design de qualité industrielle impressionnant qui offre une fiabilité et une précision supérieures dans une variété d'environnements de production. Il dispose d'un outil intégré de protection contre l'humidité et les vibrations, qui réduit l'effet des changements environnementaux sur la performance des actifs. Le modèle dispose également d'un faible entretien et d'un étalonnage facile, avec un équipement de calibrage instantané de haute précision et des fonctions d'autodiagnostic pour un fonctionnement sans problème. NSR 2205I 14E2 est un pas de plaquette de haute performance, fiable et précis, offrant des performances inégalées dans les processus de fabrication d'appareils les plus exigeants.
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