Occasion NIKON NSR G3A #293652738 à vendre en France
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NIKON NSR G3A est un pas de plaquette haute précision de nouvelle génération capable de produire des motifs extrêmement complexes sur des plaquettes semi-conductrices. Ce pas de plaquette est équipé d'un équipement optique de pointe et est conçu pour répondre aux exigences les plus élevées de la production à haut volume. NSR G3A est capable de générer des motifs avec une résolution allant jusqu'à 248nm. NIKON NSR G3A est capable d'exposer jusqu'à 1400 plaquettes par heure et peut accepter des plaquettes standard de 6 à 8 pouces d'un diamètre maximal de 200mm. NSR G3A dispose d'un système de balayage alimenté par deux galvano-miroirs indépendants, chacun offrant une résolution de 0,5 nm. Chaque miroir galvano est équipé d'une lentille achromatique à haute altitude et d'une ouverture réglable afin de fournir une imagerie nette des motifs. NIKON NSR G3A dispose d'une unité unique de correction d'image qui ajuste automatiquement l'image miroir en compensant les distorsions dues aux variations des constantes diélectriques. NSR G3A a une machine de lithographie avancée qui est capable de produire des motifs avec des largeurs de ligne aussi petites que 200nm. L'étage de plaquettes est capable d'exposer des plaquettes de silicium avec jusqu'à 4 couches de cuivre, d'or et d'aluminium. NIKON NSR G3A a un étage de haute précision capable de mouvements aussi fins que 0,5µm (500nm) avec une vitesse maximale de 100mm/sec. NSR G3A est également équipé d'une interface graphique intuitive et conviviale qui facilite la programmation et le contrôle de la machine. Le menu est intuitif et simple à utiliser, avec un menu de fonction facile à utiliser qui permet de personnaliser les données de patrons. NIKON NSR G3A dispose d'un outil de surveillance du faisceau hautement fiable qui surveille en permanence les mouvements du faisceau et l'exposition pour prévenir les erreurs ou les dommages. Afin d'assurer une production de haute qualité, NSR G3A est équipé d'un outil de diagnostic exhaustif qui surveille constamment ses performances et peut détecter tout problème de production. NIKON NSR G3A est alimenté par un modèle de refroidissement très robuste qui régule la température et assure un refroidissement efficace de la machine. NSR G3A dispose également d'un équipement de purge/air sélectable qui assure des expositions propres et sans poussière. Dans l'ensemble, NIKON NSR G3A est un pas de plaquette avancé capable d'une lithographie très précise et idéal pour une production à haut volume. Le système optique unique, l'unité de correction d'image, et l'étage très précis font de cette tranche pas à pas le choix idéal pour la production fiable et précise de semi-conducteurs.
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