Occasion NIKON NSR G7 #9226167 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR G7
ID: 9226167
Taille de la plaquette: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR G7 est un pas de tranche haut de gamme (équipement de lithographie pas à pas) utilisé pour la fabrication de circuits intégrés. Il dispose d'un système avancé d'imagerie de projection qui permet la projection d'éléments jusqu'à 15millions de résolution sur un substrat de plaquette. Il a une résolution haut de gamme de 4 nm, mesure de la lithographie stéréo à 5 nm, capacité de balayage à grande vitesse jusqu'à 800 wafers par heure, et précision de positionnement nano dans 0,2 μ m. L'unité de commande de NSR G7 comprend un scanner optique bidimensionnel, une machine de projection à grossissement variable, et NIKON Pattern Generator (NPG). Le scanner optique permet une imagerie fiable avec un taux d'imagerie 10 fois supérieur à celui des systèmes précédents. L'outil de projection a une grande précision pour le contrôle de dimension critique (CD) et comprend la technologie propriétaire NIKON Variable Magnification Asset (VMS). Le VMS permet à l'utilisateur de choisir un grossissement idéal pour différents processus. Le NPG génère des motifs précis avec une excellente répétabilité pour des motifs encore plus petits. NIKON NSR G7 utilise des processus avancés NIKON, y compris un auto-alignement sans miroir, un générateur de motifs hautement fonctionnel et un logiciel de contrôle des processus pour améliorer encore la capacité de fabrication. L'auto-alignement sans miroir élimine la nécessité d'un alignement manuel avec un repère. Cette capacité permet une fabrication plus rapide de conceptions haute densité sur une même plaquette. Le générateur de motifs NPG offre une grande flexibilité dans la génération de motifs dans les processus de lithographie à noeuds avancés avec jusqu'à 40 % d'amélioration de la productivité. Afin de réduire le temps nécessaire aux tâches d'optimisation des processus, le logiciel de contrôle des processus permet d'ajuster et d'optimiser automatiquement les processus sans avoir à écrire un programme. Le NSR G7 est également équipé d'une architecture de modèle avancée pour l'alignement de la plaquette vers la plaquette, permettant une précision de placement de 1 μ m pour les grands champs de balayage. En conséquence, il fournit un débit élevé, une excellente uniformité de débit, et une plus grande précision de recouvrement sur un large champ de vues. L'équipement dispose également d'un système d'auto-hucking complet qui sécurise des milliers de plaquettes pour le traitement et favorise une grande efficacité. Dans l'ensemble, NIKON NSR G7 est une unité de lithographie avancée avec une extrême précision, haute résolution, et beaucoup de capacités dans une machine fiable. C'est un choix idéal pour une variété de procédés de fabrication allant du fabricant de pointe à la quantité de production en vrac.
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