Occasion NIKON NSR i10 #293634217 à vendre en France
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NIKON NSR i10 est un pas de plaquette haut de gamme conçu pour être utilisé dans les processus de lithographie les plus avancés. NSR i10 offre d'excellentes performances avec un débit et une résolution élevés tout en obtenant une précision de recouvrement exceptionnelle. L'unité est construite avec une chambre à vide hautement fiable, sans contact, étanche à l'air, ce qui la rend idéale pour la production ou la recherche et le développement. Le NIKON NSR i10 est alimenté par un équipement de motorisation à trois axes, permettant un contrôle de mouvement de haute précision dans les trois axes. Les amplificateurs Dual, 400kHz permettent un balayage rapide et synchrone à grande vitesse et un positionnement rapide. En outre, le stepper comprend de nombreuses fonctionnalités avancées telles que la surveillance de focalisation en temps réel et l'optimisation d'autofocus, permettant des performances cohérentes et une précision de recouvrement exceptionnelle. L'unité dispose également d'un formulaire de système d'interface compact (CIS) qui permet une configuration automatisée et une configuration facile. Le stepper est équipé d'un microscope pour l'évaluation de superposition, et il dispose également d'une unité d'imagerie intégrée pour la détection des anomalies. La configuration optique avancée fournit une résolution minimale d'image aérienne de 0,25 microns. En outre, la machine d'éclairage avancée permet l'utilisation d'une variété de sources d'éclairage et présente un motif de diffusion de champ sombre de plusieurs ordres très uniforme pour minimiser les effets de diffraction. NSR i10 intègre également une procédure d'alignement avancée simplifiée, garantissant un alignement précis des réseaux même en l'absence d'objectifs de métrologie. La commande de mouvement de haute précision s'étend à tous les composants, permettant un alignement précis du réticule, de la résistance et du photomasque. En outre, le stepper comprend une grande capacité de programmation, avec une opération logique complexe et des scripts définis par l'utilisateur, permettant l'intégration dans un outil plus large. La taille compacte et le poids léger font de NIKON NSR i10 une solution parfaite pour les zones encombrées. La combinaison d'un boîtier hermétique et de commandes puissantes permet à NSR i10 de gérer les conditions environnementales les plus extrêmes. La combinaison de performances robustes, de haute précision et de fonctionnalités polyvalentes font de cette tranche un excellent choix pour la plupart des applications de production.
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