Occasion NIKON NSR i11D #293807381 à vendre en France

NIKON i11 est un pas de plaquette fiable et efficace conçu pour offrir des performances et un débit élevés. Ce stepper est équipé d'une source d'alimentation UV profonde propriétaire et de longue durée appelée i-line. Cette ligne fournit des rayonnements très stables allant de 250nm à un maximum de 394nm, avec une grande stabilité de puissance ± 3 %. NIKON I 11 comprend un équipement de contrôle du vide et des défauts qui assure une qualité d'image optimale en détectant et en gérant les défauts avant la gravure. Il dispose également d'un système d'alignement haute résolution qui réduit le besoin de réalignement fréquent de l'image sur chaque étage. Le stepper offre plusieurs modes d'exposition pour diverses exigences de production. I11 a une empreinte compacte de 6.3m x 4.1m, ce qui le rend adapté à la plupart des environnements fab. Grâce à cet étage, les plaquettes peuvent être traitées jusqu'à 8 pouces, ce qui contribue à augmenter la capacité de production. En outre, il peut traiter jusqu'à 57 plaquettes à la fois pour augmenter le débit. I 11 dispose également d'un revêtement anti-reflets précis qui permet une couverture de couche optimale tout en conservant une grande précision même en présence d'une variation de tranche à tranche. Cela garantit que toutes les couches sont recouvertes uniformément et sans ombre ni formation de défaut. Il est capable de réaliser des structures 3D/bump avec une précision de commande de forme sous-micron. Enfin, NIKON i11 comprend une machine de contrôle de processus intégrée qui permet un contrôle de processus couche par couche précis. Avec les étages XYZ de haute vitesse et de technologie avancée, ce pas peut atteindre une précision de recouvrement ± 1,5 μ m. Il est également équipé d'une série complète d'outils de gestion des données qui facilitent la gestion des données de traitement des plaquettes.