Occasion NIKON NSR i9 #293586905 à vendre en France

NIKON NSR i9 est un pas de plaquette à la pointe de la technologie capable de modeler avec précision et de façon répétée la surface de substrats semi-conducteurs de grand diamètre avec une défectivité minimale. Il équilibre maladroitement le débit, la résolution et le coût dans un paquet compact, mais hautement capable. NSR i9 utilise une optique de projection de 4 lentilles sur un interféromètre laser et un équipement de navigation, permettant des défauts aussi petits que 32 nanomètres sur des substrats jusqu'à huit pouces de diamètre. Il s'agit d'une double amélioration par rapport au prédécesseur du système. L'interféromètre permet une précision de niveau de sous-nanomètre dans le positionnement de la plaquette, et l'unité de navigation permet une précision d'alignement de la plaquette à la plaquette typiquement limité de telles opérations. Le cadre NIKON NSR i9 comprend également une lentille de démagnification, qui améliore simultanément la résolution du microscope, et une lentille de zoom, qui agrandit les champs de vision, tout en maintenant une fine focalisation sur une cible en mouvement, indépendamment de la position du substrat. D'autres caractéristiques de NSR i9 comprennent une machine laser améliorée, capable d'émettre la lumière d'un spectre complet à toutes les longueurs d'onde de processus, un écart d'attente ultra bas, statique et dynamique de 1,2 um à 0,1 um respectivement, en attendant la facilité d'utilisation pour les changements de processus et optimisé pour les substrats disque et plat. NIKON NSR i9 offre également des caractéristiques de pointe, telles qu'une chambre entièrement intégrée pour accueillir les recettes de chambre sèche et d'immersion, encapsulation intégrée des composants optiques dans une conception légère, un microscope numérique avec un champ de vision à plusieurs niveaux pour identifier les défauts potentiels, outils et paramètres automatisés pour réduire au minimum le temps de manipulation du substrat et améliorer la qualité de la cartographie, tout en préservant la sécurité des substrats délicats et précieux, permettant à NSR i9 de modeler des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre avec une précision inférieure à la nm.