Occasion NIKON NSR S203 #9315286 à vendre en France

NIKON NSR S203 est un pas de plaquette haute performance, conçu pour des applications de lithographie de haute précision. Le dispositif est équipé d'un équipement de mouvement de scène à 4 axes, 6 axes ou 7 axes, permettant une très haute résolution de 0,5nm. Le système est conçu de manière à pouvoir être ajusté à différentes tailles de plaquettes, ainsi qu'aux différentes dimensions des substrats. Le NSR S203 original est une unité de lithographie à double faisceau qui comprend une lampe à longue durée de vie capable de fournir un éclairage limité par diffraction pour une large gamme de longueurs d'onde. NIKON NSR S203 utilise un certain nombre de technologies exclusives pour obtenir un balayage à haut débit et une précision sous-micrométrique. Il s'agit notamment de la machine STFI (Self-Triggering Frame Inserter), de l'outil Scan Control AutoTune (SCAT) et de l'outil de contrôle du mouvement de l'étage de roulement à air. Le modèle STFI garantit le plus haut débit de performance avec son réticule de 8 pouces de diamètre et assure une grande précision tout au long de l'échange de réticules. L'équipement SCAT assure un balayage précis en ajustant les paramètres de balayage à la volée, tandis que le système de contrôle de mouvement de l'étage de palier à air permet un mode de balayage étape et répétition avec un contrôleur à grande vitesse. NSR S203 est également équipé d'un ensemble complet de solutions d'alignement d'impression et de métrologie. Le dispositif est intégré à une caméra d'alignement et à un Groupe d'inspection visuelle (VIS) de faible puissance, qui assurent un alignement des motifs sans corrélation et aident à surveiller les motifs imprimés. Le VIS aide à détecter les erreurs de recouvrement, la largeur des lignes et la mesure de la forme, ainsi que les mesures de rugosité de surface 2D et 3D. Divers algorithmes d'étalonnage sont utilisés pour améliorer la précision des processus et réduire les erreurs de recouvrement. NIKON NSR S203 dispose également d'un algorithme avancé d'optimisation lithographique, ce qui améliore la performance et la précision globales des étapes. L'algorithme d'optimisation utilise un logiciel avancé pour déterminer automatiquement les paramètres d'exposition optimaux pour le processus, ce qui se traduit par un meilleur rendement du dispositif et des performances de mise à niveau fines. La machine fournit également une variété d'outils de balisage et aide à minimiser les wafers gaspillés et les défauts de lithographie. En résumé, NSR S203 est un pas de plaquette haute performance conçu pour des applications de lithographie de haute précision. Il est équipé d'une variété de technologies exclusives pour obtenir un balayage à haut débit et une précision sous-micrométrique. L'appareil est en outre intégré à une multitude de solutions d'alignement et de métrologie d'impression, ainsi qu'à un algorithme d'optimisation lithographique, afin de maximiser les performances et la précision.