Occasion NIKON NSR S204B #293598414 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR S204B
ID: 293598414
DUV Scanner.
NIKON NSR S204B est un équipement d'exposition de haute précision, étape et répétition qui est idéal pour la fabrication de semi-conducteurs IC. C'est un excellent choix pour une variété de processus d'emballage IC, y compris MEMS, TSV, 3D IC et des procédés de lithographie avancés. Le S204B dispose d'un système optique avancé pour fournir un haut débit et un champ de vision qui peut accueillir plusieurs tailles de plaquettes. Il est basé sur un plan à quatre côtés, avec quatre postes d'exposition pour accueillir jusqu'à quatre plaquettes de 4 pouces à la fois. Le stepper a une résolution leader de l'industrie de 4.0um et une taille de champ maximale de 33mm x 33mm. Il supporte des tailles de réticules flexibles, avec un étage de réticule qui peut accueillir jusqu'à 100mm masques réticules. Il peut également supporter l'ultraviolet profond (DUV) et la lithographie d'immersion en utilisant une gamme de masques et de lentilles compatibles. La machine dispose d'un servomoteur très fiable et à grande vitesse avec un maximum de 150W de puissance. Il dispose d'une machine d'alignement de haute précision, avec une répétabilité de 0,25 et une précision de 0,4. La vitesse maximale de balayage est de 15,2 scans/seconde dans les directions X/Y, et l'accélération de l'axe est jusqu'à 15,25 G. La machine offre également une excellente stabilité et fiabilité pour des temps d'exposition plus longs. Il dispose d'un refroidisseur intégré pour assurer le refroidissement de la machine et optimiser la stabilité de la zone d'exposition. Le refroidisseur aide également à réduire les effets de l'expansion thermique, et le S204B peut résister à des températures allant jusqu'à 40 degrés Celsius. Le S204B est équipé d'une gamme de caractéristiques pour assurer une productivité élevée. Les systèmes automatisés de chargement et de déchargement des plaquettes réduisent le travail manuel et augmentent le débit. Il dispose également d'un outil de réglage de la focale interne rapide qui peut être utilisé pour affiner le foyer du réticule en quelques secondes. En outre, la machine offre des diagnostics à distance et une interface utilisateur personnalisable qui permet aux utilisateurs de maintenir et de surveiller la machine en temps réel sans avoir besoin d'un technicien. En conclusion, NIKON NSR-S204B est un pas puissant et fiable qui offre un débit, une précision et une flexibilité élevées. La machine peut être utilisée pour une large gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs IC et son excellente vitesse et précision le rendent idéal pour les procédés de lithographie avancés.
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