Occasion NIKON NSR S204B #293606906 à vendre en France
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NIKON NSR S204B Wafer Stepper est un équipement de lithographie semi-conductrice de pointe conçu pour la fabrication à l'échelle du micron de dispositifs semi-conducteurs. Le système utilise une seule lentille avec une machine optique de réduction 4X pour fournir un alignement et un réglage extrêmement précis des dispositifs. L'outil NIKON NSR-S204B Wafer Stepper est entièrement automatisé avec un logiciel avancé qui permet de régler automatiquement les paramètres d'exposition, l'alignement et la précision d'alignement. L'actif NSR S 204 B se compose d'une unité de base, d'une unité de commande par pas intégrée, d'une source lumineuse et d'un étage motorisé avec translation X, Y et Z. L'unité de base abrite le microscope optique, l'unité de commande pas à pas, le moteur, les moteurs et les alimentations. L'unité de commande pas à pas intégrée communique avec les motoristes sur le protocole EtherCAT pour contrôler les mouvements verticaux et horizontaux de l'étage. L'étage motorisé est alimenté par deux moteurs pas à pas à courant continu et comprend un servomoteur linéaire vertical pour un contrôle précis de l'axe Z. La plage contrôlable de l'étage est de 100mm x 100mm dans les directions X et Y, et de 5mm dans la direction Z. La source lumineuse utilisée en NSR S204B est un laser hélium-cadmium. Ce laser émet de la lumière dans la région ultraviolette du spectre, fournissant une résolution au niveau du sous-micron. La puissance maximale du laser est 15mW dans la région UV et sa longueur d'onde est de 355 nm. Le modèle permet à l'utilisateur de contrôler la focalisation du faisceau laser en ajustant la position relative de l'objectif. La gamme de focalisation de l'équipement est adhérente aux limites de diffraction, ce qui permet de modeler avec précision les caractéristiques au niveau des sous-microns. La principale caractéristique du NIKON NSR-S 204 B est sa capacité de manutention des plaquettes. Le système est équipé d'un mandrin de rotation de plaquettes et permet la manipulation directe de plaquettes de 6 pouces. L'unité comprend également des mandrins et des pinces qui permettent un alignement précis de la plaquette par rapport au faisceau lumineux, ce qui améliore encore la précision d'alignement globale. En plus de ses capacités de fixation précises et d'excellente manipulation des plaquettes, NSR-S204B offre une excellente fiabilité et disponibilité. La machine est conçue pour exécuter de longs cycles de production et avec un temps d'arrêt minimal. L'outil peut être actionné en mode automatisé ou manuel et comprend également un actif de vide pour l'éjection de plaquettes et la manipulation de plaquettes mal alignées. Le logiciel intégré du modèle permet un traitement, une programmation et un ajustement des paramètres faciles. L'équipement comprend également un port adaptateur réseau et un langage Visual Basic Scripting, qui permet de programmer le système et de créer des scripts utilisateurs. En conclusion, le NIKON NSR S 204 B offre une excellente combinaison de capacités de fixation précise, de fonctions de manutention automatisée des plaquettes et de fiabilité. Cette unité constitue un outil idéal pour la production et la recherche de dispositifs semi-conducteurs.
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