Occasion NIKON NSR S204B #293627299 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR S204B
ID: 293627299
DUV Scanner CYMER ELS 6400 Exposure power: 900 mW/cm² Illumination uniformity: ±2% Wafer flatness: 3.0 µm Recticle accuracy: 0.4 - 0.8 mm Reticle rotation: |x| + 3σ, 0.02 µm Stepping precision: 3σ, 0.025 µm Backlash precision: 3σ, 0.025 µm Distortion: ≤ ±0.025 µm LSA Overlay: 3δ ≤ 0.045 µm FIA Overlay: 3δ ≤ 0.045 µm Inclination: ≤ 0.2 µm Wafer pre-alignment: ≤ 15 µm.
NIKON NSR S204B est un équipement pas à pas et répétition performant conçu pour la production de photomasques, de réticules, d'écrans plats et de substrats d'inspection haute résolution. Il dispose d'une résolution des plus précises de 0.37nm avec une taille de motif maximale de 12mm x 12mm. La machine est capable de manipuler plusieurs réticules simultanément, ce qui la rend apte à la production de grands volumes de photomasques, de réticules et d'écrans plats. NIKON NSR-S204B est équipé d'un système d'alignement de projection à 3 miroirs, d'algorithmes de balayage optimisés, sans partage ni chevauchement d'image, et d'une protection d'alignement avancée. La précision d'alignement obtenue avec cette unité assure l'intégrité et un alignement remarquablement facile avec l'étape de placement de la photomasque. Pour atteindre le plus haut débit et la productivité, le S204B accélère le processus d'exposition et dispose d'un étage de rotation à grande vitesse pour les plaquettes supplémentaires dans la zone de terrain, permettant d'exposer plusieurs réticules simultanément. Cela permet une augmentation spectaculaire de l'efficacité et de la stabilité de la production. La machine profite aussi d'une réduction de grossissement intérieure décuple aussi bien qu'une profondeur prolongée de foyer pour permettre plus de 0,75 �m de hauteur de pas sans toute perte d'image de détection. De plus, un outil de correction d'aberration chromatique permet des ajustements grossiers et fins. Le S204B fournit également une technologie avancée de représentation de pointe, assurant une plus grande précision dans le processus d'inspection. La technologie SNR mesure l'information de bord et les distorsions de forme, en tenant compte de toute non-linéarité, et fournit des résultats plus précis que celui d'un pas-et-répétition traditionnel. Pour protéger l'opérateur contre les erreurs, le S204B dispose de systèmes intégrés de détection et de prévention des erreurs, permettant de gérer correctement toute interférence ou dysfonctionnement inattendu pendant la production. L'actif dispose également d'un alignement intelligent intégré, permettant une résolution précise et un positionnement rapide. En conclusion, NSR S 204 B est un modèle de pas de plaquettes multifonctions performant conçu pour la production de photomasques, de réticules, d'écrans plats et de substrats d'inspection haute résolution. En offrant un équipement d'alignement de miroir avancé, des capacités de balayage améliorées, une vitesse accrue et une précision d'inspection accrue, le S204B est un outil puissant essentiel à tout processus de production. Ce système fournit le plus haut niveau de précision et de débit sans compromettre l'intégrité de l'image.
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