Occasion NIKON NSR S204B #293678915 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR S204B
ID: 293678915
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
KrF Scanner, 8" Hard Disk Drive (HDD) 2000 vintage.
NIKON NSR S204B est un pas de plaquette conçu pour la lithographie de précision utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs. Il fait partie de la série NIKON NSR et est l'un des systèmes les plus fiables et avancés disponibles. Le S204B utilise une interface homme-machine pour un fonctionnement facile, et comprend une gamme de systèmes d'optique haute performance, de contrôle automatisé et de commande de mouvement. L'objectif pour le S204B est NIKON AIMEX VXR270, un objectif à grande ouverture corrigé de l'aberration à haute résolution. Il a une NA de 0,35 et un grossissement plein champ de 3x. Cela lui permet d'obtenir des résolutions de lithographie micron/sub-micron de précision ainsi qu'un débit élevé. L'objectif utilise également un équipement d'entraînement linéaire à moteur pour un fonctionnement lisse et sans vibrations. Le S204B dispose également d'une plateforme de contrôle MMC-5000E propriétaire NIKON, permettant un contrôle automatisé et précis du système. Cette plate-forme de contrôle prend en charge un large éventail de fonctions de contrôle, y compris le temps d'exposition, la résolution, les paramètres de processus, le mouvement et l'alignement des réticules, et la précision de l'étage des plaquettes. Il dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive, qui rend le fonctionnement facile et efficace. En plus de ses optiques et commandes avancées, NIKON NSR-S204B est équipé d'une gamme de capacités de manutention de plaquettes. Il est équipé d'un mandrin électromagnétique pour transporter des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre, ainsi que d'un chargeur de cassettes pour charger/décharger automatiquement des cassettes de plaquettes. Cette unité polyvalente comprend également une sélection d'accessoires pour les opérations de prétraitement et de post-traitement. Cela comprend une carte automatique pour vérifier la distorsion des plaquettes (WRA), une table de mouvement vers le haut pour la cartographie et l'enregistrement, et une table de contrôle pas à pas pour le contrôle de l'alignement laser. Dans l'ensemble, NSR S 204 B est une machine puissante et fiable qui fournit des résolutions de lithographie micron/sub-micron de précision, la manipulation automatisée des plaquettes et l'interfaçage intuitif. Il est idéal pour des applications allant de la microélectronique, aux dispositifs médicaux, à l'opto-électronique, et plus encore.
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