Occasion NIKON NSR S204B #293799832 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR S204B
ID: 293799832
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2000
Stepper, 6" Wafer type: Flat SiC Pin chuck Resolution: ~ 0.2 µm Exposure field: 26 x 33 mm Reticle, 6" Pre-alignment: NC Pre2 CYMER ELS 6400 Laser Reticle alignment Wafer alignment Auto focus Auto feeder Wafer tilt Wafer holder BMU PPD Power supply: 200 V, 3 Phase 2000 vintage.
NIKON NSR S204B est un pas de plaquette performant pour la production de semi-conducteurs. Cet équipement est conçu pour fournir une précision précise et un débit élevé pour la fabrication de circuits intégrés et d'autres micro-composants. Il dispose d'un étage robuste et de haute précision qui permet un fonctionnement à grande vitesse dans diverses conditions de processus et d'environnement. Le système se compose d'un étage motorisé et d'une série de lentilles qui forment ensemble l'ensemble lentille et la commande d'étage. Un étage motorisé a été développé pour fournir une grande précision et un débit élevé en commandant deux étages réglables, l'un pour le positionnement grossier et l'autre pour le positionnement fin. La commande d'étage est capable de positionner avec précision le porte-substrat en x, y et z mouvements avec une précision maximale de 0,001 mm dans toutes les directions. Le contrôle de mouvement avancé et l'imagerie de NIKON NSR-S204B permettent d'assurer une exposition uniforme et répétable de la plaquette, ce qui permet une précision et un débit élevé. Une unité d'alignement automatisée permet de réduire le temps d'exposition. Le stepper est compatible avec une variété de types de photomasques et de plaquettes, ce qui le rend idéal pour un certain nombre d'applications finales et de processus de production différents. La machine d'exposition de NSR S 204 B est équipée d'une source d'exposition UV de 254 nm de puissance et d'une source d'exposition laser de haute puissance. La durée d'exposition peut être spécifiée en nanosecondes ou en millisecondes. La dose d'exposition totale est automatiquement calculée et l'outil de contrôle de la dose d'exposition prévient la surexposition ou la sous-exposition de la plaquette. Le NSR-S 204 B dispose également de détecteurs de haute précision et de systèmes de régulation de la température qui sont nécessaires pour fournir un contrôle d'exposition serré et des résultats d'exposition uniformes. Il existe également un outil de contrôle en temps réel sur plaquette pour vérifier la qualité de l'exposition. Pour plus de commodité, NIKON NSR S 204 B est compatible avec un modèle de contrôle d'interface externe, permettant une intégration avec un équipement de contrôle d'usine. Le système est également protégé contre la contamination par une fonction de douche à air intégrée. NSR S204B est le choix idéal pour la production de circuits intégrés et d'autres micro-composants. Sa commande de mouvement avancée, son unité d'exposition et sa protection contre la contamination en font une machine fiable et précise pour des processus de production exigeants.
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