Occasion NIKON NSR S204B #9195220 à vendre en France
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Vendu
ID: 9195220
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
DUV Scanner, 8"
Wafer type: SNNF
Inline feed direction: Left
Sendai S36 Chamber
Lens type: 4EN2GK
Chamber temperature: 23°C
Reticle size: 6" x 6"
Field size: 25 x 33 mm
NIKON Standard reticle case
(24) Reticle slots
(2) Reticle libraries
Wafer loader: Type 3
Notch 6C, 8"
Low contact pin chuck
KOMATSU / GIGAPHOTON G20K2-1 Laser
Setup for 20 m altitude
Focus check function:
TTL-FC2
LSA, FIA Alignment chip leveling
Multipoint focus / Leveling (45 Point)
RET Shilink illuminator: 1/2, Annual, conventional, small sigma
Bottom pellicle mount
Reticle particle checker
Reticle bar code reader
Wafer carrier stage
SECS Protocol
2000 vintage.
NIKON NSR S204B Wafer Stepper est le modèle le plus avancé NIKON de la technologie des stepper. Il s'agit d'un dispositif hautement automatisé et avancé utilisé dans la fabrication de plaquettes de silicium. NIKON NSR-S204B dispose d'un équipement à entraînement direct basé sur une variété de conceptions avancées, permettant un positionnement précis et reproductible de la plaquette. Ce positionnement précis peut être réalisé sur plusieurs plaquettes afin de créer une structure ou un dispositif plus grand et plus complexe. Les mouvements très précis et reproductibles du pas permettent un alignement précis et une production efficace des images ou motifs à la surface de la plaquette de silicium. Le NSR S 204 B utilise un certain nombre de technologies innovantes pour réduire les aberrations et prévenir le miroir - assurant un niveau élevé de précision sur les plaquettes. Sa tige de focalisation motorisée et son système de stabilisation d'image numérique flexible contribuent à éliminer le besoin d'intervention de l'opérateur. Le stepper intègre également l'unité de désintégration en plusieurs étapes brevetée NIKON, qui permet de créer des motifs sur plusieurs couches de surface simultanément. NSR-S204B est conçu pour fonctionner à des températures comprises entre - 30℃ et +60℃, ce qui lui permet de produire des images de manière fiable dans un large éventail de conditions environnementales. Ses algorithmes laser sophistiqués permettent une précision submicronique précise, même avec un espacement entre les bras de la plaquette et de l'alignement aussi faible que 0,2 mm. En outre, la machine d'imagerie avancée assure des performances constantes et répétables dans toutes les conditions environnementales. NIKON NSR S 204 B est à la fois compatible logiciel et matériel, ce qui signifie qu'il peut être intégré avec d'autres systèmes et logiciels NIKON. Cette fonctionnalité avancée signifie que les utilisateurs peuvent contrôler le stepper à partir du logiciel LSIA. Il offre également du matériel de carte en option, le rendant compatible avec les systèmes informatiques IBM et Mac. NSR S204B est également équipé d'un dispositif de sécurité intégré pour éviter le désalignement de la plaquette. De plus, la conception avancée du stepper permet un entretien facile et le remplacement des composants clés. En résumé, NSR-S 204 B Wafer Stepper est un appareil avancé qui offre aux utilisateurs un positionnement très précis et répétable de la plaquette. Il dispose d'une gamme de technologies innovantes qui garantissent un haut niveau de précision sur plusieurs couches d'une plaquette de silicium. Cet appareil est extrêmement polyvalent et compatible avec les systèmes informatiques IBM et Mac. De plus, le NIKON NSR-S 204 B possède un certain nombre de caractéristiques de sécurité, ce qui facilite incroyablement la maintenance et le remplacement de ses composants clés par ses utilisateurs.
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