Occasion NIKON NSR S204B #9272079 à vendre en France
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ID: 9272079
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
KrF Scanner, 8"
Part M/C : PC
Wafer loader (Loader slide)
Wafer stage (Interferometer laser)
Reticle stage (Interferometer laser)
Reticle loader
Reticle handler robot
Boards (ALG board)
PPD
2000 vintage.
NIKON NSR S204B est un pas de plaquette conçu pour permettre la production de motifs extrêmement petits et complexes sur des substrats semi-conducteurs, ou « plaquettes ». C'est un dispositif photolithographique, c'est-à-dire qu'il utilise un rayon de lumière pour projeter des motifs sur la plaquette qui sont enregistrés par une photorésist, un matériau photosensible. La source lumineuse est généralement une lampe à base de xénon ou de mercure, bien que les versions modernes peuvent incorporer des LED. NIKON NSR-S204B est automatisé de nombreuses façons, et est contrôlé par une série de moteurs coaxiaux pour assurer la précision et la répétabilité. Ces moteurs positionnent la plaquette et contrôlent l'alignement du pas et du balayage, ainsi que l'exposition. Zoom, mise au point et alignement sont également réglables pour les besoins spécifiques de chaque substrat. Ces moteurs de précision permettent à NSR S 204 B de créer des motifs avec des résolutions de 0,29 µm pour les aligneurs de masque et jusqu'à 0,35 µm pour les étages. Les plaquettes sont placées dans la chambre d'exposition qui est faite de quartz et de plastique époxy renforcé pour s'assurer qu'aucune contamination n'est transférée aux plaquettes. La lumière est acheminée à travers une série de miroirs en forme de fente qui projettent plusieurs images sur la plaquette pour focaliser avec précision la lumière à travers un objectif de zoom. Une fois en place, la plaquette est exposée à la lumière, et les motifs sont enregistrés. Ensuite, la plaquette peut être enlevée et traitée avec un développement ultérieur. Le NIKON NSR-S 204 B est équipé de plusieurs fonctionnalités avancées qui permettent une flexibilité supplémentaire, y compris le contrôle par grappes amélioré qui utilise deux images distinctes pour former une seule exposition. Il dispose également d'un calibrage scanner intégré avec des fonctionnalités de masque fixe, permettant à la plaquette d'être alignée et focalisée avec précision avant d'être exposée à la lumière. L'option de réduction de paquet réduit le temps d'exposition pour une production à haut volume, et une fonction Full Auto Reticle Search garantit que les motifs sont placés avec précision. En outre, NSR-S204B est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité. Cela comprend une porte de chambre qui se ferme automatiquement lorsque la manipulation n'est pas détectée, ainsi qu'un bouton d'arrêt d'urgence et un verrouillage d'exposition pour minimiser les dommages potentiels causés par la lumière UV. Le dispositif est également équipé d'un système antivibratoire pour amortir les vibrations lors de l'exposition. Globalement, le NIKON NSR S 204 B est un pas de plaquette puissant et efficace qui permet la production rapide de motifs complexes sur les plaquettes semi-conductrices. Ses caractéristiques robustes et faciles à utiliser, combinées à ses caractéristiques de sécurité, font de l'appareil un excellent choix pour les micro-appareils fabriqués.
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