Occasion NIKON NSR S205 #293660358 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR S205
ID: 293660358
KrF Scanner AIS Measurement repeatability: 3σ ≤ 60 nm Stepping precision: 3σ ≤ 25 nm Backlash: 3σ ≤ 25 nm Resolution: Conventional: 180 nm Annular: 2/3 Depth of focus: ≥ 400 nm / ΔCD 36 nm Focus deviation: ≤ 130 nm Dynamic distortion: ±15 nm LC Control Accuracy: Magnification: ±10 nm Alignment accuracy: FIA-EGA: |M|+3σ ≤ 35nm LSA-EGA: |M|+3σ ≤ 40nm.
NIKON NSR S205 est un pas de plaquette haute performance et haute vitesse conçu pour la production de masse de semi-conducteurs. Il dispose d'un équipement de balayage haut de gamme, offrant une excellente qualité d'image, un placement précis des motifs et des erreurs de petite dimension critique (CD) pour le traitement en ligne fine. Avec une grande profondeur de champ, une ouverture numérique élevée (NA) de 0,75, une taille de champ de balayage généreuse et une profondeur de champ pouvant accueillir 300 mm de plaquettes primaires sans besoin de balayage, NSR S205 assure une superbe superposition de plaquettes à plaquettes et une excellente précision de placement. Pour garantir une disponibilité maximale et une maintenance minimisée, NIKON NSR S205 est équipé de composants matériels et logiciels avancés. Un système de communication par réseau de bus CAN et une unité de vision intégrée fournissent une rétroaction rapide et détaillée à l'utilisateur. Sa machine ergonomique et facile à manipuler, équipée d'un accès avant, permet de prévenir les malentendus et d'assurer une commutation rapide. L'outil de manutention et d'obturation de la plaquette dispose également d'un dispositif de chauffage intégré pour maintenir la température de la plaquette constante. Pour le traitement avancé, NSR S205 dispose d'un actif d'imagerie directe laser intégrée (LDI). Ce modèle fournit des coefficients d'exposition stables et sécurisés et utilise la technologie de projection de franges d'interférence laser pour aligner avec précision les motifs sur les plaquettes. De plus, la couture numérique permet la projection de motifs très complexes. NIKON NSR S205 est également équipé d'un équipement intégré d'alignement de faisceau, fournissant des valeurs optiques et électriques stables et un réglage facile. NSR S205 représente les dernières avancées de la technologie des gradins. Sa conception simplifiée permet aux utilisateurs de réduire l'exposition aux particules et la contamination, tandis que sa haute performance est idéale pour une production de masse. En outre, sa taille compacte et son prix raisonnable en font un outil précieux pour une grande variété d'applications industrielles et académiques.
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