Occasion NIKON NSR S205C #293619857 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR S205C
ID: 293619857
Style Vintage: 2005
KrF Scanner 2005 vintage.
NIKON NSR S205C step and scan equipment est un système de lithographie de haute précision et haute résolution conçu pour les procédés de photolithographie avancés dans la production de semi-conducteurs. Cette unité est capable de produire des images et des motifs de la plus haute qualité avec des temps de traitement minimes. Sa source de faisceau est une source de lumière laser ARF (excimère à décharge gazeuse) très efficace, qui fournit un diamètre de tache très précis de 5 microns et une intensité lumineuse maximale d'environ 100 mW/cm2 dans le champ de balayage. La machine est disponible en deux configurations : scanner seul et stepper/scanner. Le mode scan-only est pour les expositions avec de grands motifs d'image, qui n'ont pas besoin d'être répétées ou enregistrées. Le mode stepper/scanner relie l'outil directement à un stepper, permettant l'intégration et la répétabilité de grands champs de caractéristiques critiques avec une grande précision. Le S205C est équipé de trois scanners galvanométriques indépendants. Le scanner principal est chargé de scanner l'ensemble du champ tandis que les deux sous-scanners sont utilisés pour obtenir une résolution de largeur de ligne 2D élevée de 0,7 microns. Le scanner principal utilise un faisceau unique pour réduire le temps de balayage et la distorsion de l'image. L'actif dispose également d'un modèle d'imagerie avancé d'une caméra CCD avancée en combinaison avec une gamme continue de lentilles. Cela permet aux utilisateurs d'augmenter la résolution de balayage jusqu'à 0,4 microns pour des motifs de circuit précis. L'interface utilisateur de l'équipement est conçue pour un fonctionnement efficace et un contrôle puissant de l'installation. Le panneau d'opération et l'écran LCD couleur de 4,3 "permettent de contrôler tous les paramètres tandis que les fonctions d'alarme facilitent la gestion du système. L'unité offre également un certain nombre de fonctions de réseau pratiques, comme un navigateur Web, une adresse IP, ou une connexion Ethernet. Une autre caractéristique populaire de NIKON NSR S 205 C est sa machine d'auto-alignement intégrée, qui automatise le processus d'alignement du stepper et du scanner. Ceci assure un désalignement minimal du motif, ce qui peut entraîner une dégradation de l'image et une perte de rendement. NSR S205C est un outil de lithographie très efficace et précis conçu pour répondre aux exigences extrêmes de la photolithographie en ligne de production. C'est un choix sûr et fiable pour la production industrielle de semi-conducteurs et est adapté à la production d'une large gamme de circuits optiques très avancés.
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