Occasion NIKON NSR S205C #293639083 à vendre en France

NIKON NSR S205C est un pas d'imagerie multi-champs largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Le NIKON NSR S 205 C offre des performances lithographiques de haute précision et à haut débit avec une résolution de 2,05 microns. Le pas de plaquette est construit avec un interféromètre laser pour assurer la précision et la répétabilité de l'alignement du champ d'exposition. La machine est conçue pour supporter une gamme complète de besoins de production, de petite à grande taille de plaquette de petite à grande taille de dispositif. Il supporte une gamme complète de tailles de masques de 4 à 12 pouces et est en mesure d'accueillir des tailles de masques jusqu'à 200mm. Le stepper offre une large gamme d'options de lentilles pour répondre à diverses exigences d'exposition. Les lentilles disponibles comprennent des lentilles à haut NA (ouverture numérique) telles que 0.65NA et 0.60NA, ainsi que des lentilles à haut NA de type S. L'équipement utilise un mécanisme de balayage à haute vitesse et à haute résolution pour s'assurer que les champs d'exposition multiples sont enregistrés avec précision et simultanément. NSR S205C dispose également d'une gamme de fonctions d'automatisation intégrées, y compris l'alignement assisté par la vision et l'autofocus, qui permettent à ses utilisateurs de réduire le temps nécessaire à la mise en place de chaque tâche. En outre, le stepper est équipé d'un certain nombre de caractéristiques spéciales pour permettre l'inspection des modèles et des fonctions d'analyse de superposition pour des types d'appareils spécifiques. Ces fonctions comprennent un autofocus et un système de mesure pour les motifs d'appareils électriques, la détection des défauts de motif, et des formes de motifs améliorées pour les dispositifs optiques. L'étage réticulaire du pas offre un niveau de répétabilité plus élevé que les systèmes classiques, avec une précision de rotation de 5 secondes d'arc. L'article 205 C du RSN comprend diverses options de contrôle de processus, comme une fonction de cycle de programme multiple et la capacité de stocker plusieurs masques et recettes. Le stepper est également compatible avec une variété de logiciels DPEC (Data Processing and Evaluation Control), fournissant une carte automatique des plaquettes, des paramètres d'exposition flexibles et un contrôle séquentiel du hucking. NIKON NSR S205C appuie également divers systèmes d'inspection, de surveillance et de mesure. Dans l'ensemble, NIKON NSR S 205 C est une unité idéale pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'une technologie d'imagerie avancée et d'alignement précis, de lentilles multiples et de fonctionnalités d'automatisation, ainsi que de traits de machine de haute précision et reproductibles. Les caractéristiques du stepper en font un excellent choix pour une gamme d'exigences d'application.