Occasion NIKON NSR S205C #9260061 à vendre en France
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ID: 9260061
KrF Scanner, 8"
Main lens:
Lens type: 4EN3
Magnification: 1/4
Light-source: KRF-Line, 248 nm
Resolution:
Conv (150 nm)
RET (130 nm)
Lens: 0.60 ~ 0.75
Exposure filed size: 25 x 33 mm
Control and lens adjust system: Inner-MAC
System hardware:
Computer: DS Type
Reticle size: 6"
Variable reticle microscope
Alignment sensor:
Laser Step Alignment (LSA)
Field Image Alignment (FIA)
No Laser Interferometric Alignment (LIA)
Aeial Image Sensor (AIS)
ALG-AF Alignment
Illumination system: CORE + RET
Interferometer system:
Wafer stage
Reticle stage
Focus system: Multi focus (7x7 Point)
Leveling system: Multi leveling(7x7 Point)
Wafer loader:
Type 4
Notch type
Wafer size: 8"
Wafer cassette: Single cassette
Wafer in-line: Left in-line
Wafer Pre-Align2 type: Non contact
Interface type: ACT 8
Reticle loader: 2-Library / 24-Slot
Control rack: Right type
No signal tower
GIGA G21K2-1 Eximer laser
Maximum frequency: 2 KHz
BMU
Active Temperature Control (ATC)
(2) AMP Units: Single NEMA type
Chamber:
SENDAI S37
ASHAHI N6A-A
Temperature (BATC / CATC / LLTC2): 23.0°C
Options:
No FFU unit
LFU Unit
Booster regulator: 0.1~1.0 Mpa
Overlay data (FIA):
X: -3 nm Average
Y: 17 nm Average
X (3σ): 16 nm
Y (3σ): 15 nm
Lens inclination data:
TFD: 144 nm
AST: 33 nm
Lens distortion data:
X: -12 nm~11 nm
Y: -4 nm~8 nm
Illumination ID (L-NA / I-NA): Power / Uniformity
ID 1 (0.68 / 0.51): 1398 mW / 0.56%
ID 3 (0.68 / 0.58): 1485 mW / 1.14%
ID 6 (0.60 / 0.45): 1340 mW / 1.276%
2002 vintage.
NIKON NSR S205C est un pas de plaquette conçu pour traiter les motifs complexes écrits sur des semi-conducteurs avec lithographie optique. Utilisant des technologies de pointe, le NIKON NSR S 205 C est capable d'imprimer une image haute résolution avec une résolution de 1,0 micron ou moins dans un large éventail d'applications. NSR S205C est construit sur une plate-forme à deux niveaux, dont l'étage supérieur est une innovation de NIKON appelée Dynamic XYZ, fournissant une précision accrue de 0,6 nm pour le positionnement des plaquettes, ce qui est un véritable avantage pour la lithographie haute résolution. L'équipement est très précis sur de nombreuses surfaces, avec une répétabilité impressionnante de 1.6nm. L'étage inférieur se compose d'un moteur haut de gamme très précis, fournissant vitesse et précision sur tous les mouvements et mouvements nécessaires pour écrire les motifs avec précision. Le NSR S 205 C est équipé de la dernière optique plein champ de 8 pouces pour réduire considérablement le temps de mesure et les coûts d'exploitation. Cette fonctionnalité permet au système de disposer de 8 millions de pixels réels avec une précision d'exposition de 1nm. De plus, l'unité dispose d'une capacité d'imagerie convergente de 0,5 nm, lui permettant de produire des images à la plus haute résolution possible. NIKON NSR S205C est logé dans une armoire en alliage d'aluminium extrêmement durable et fiable, avec une machine de contrôle du bruit et de la chaleur. L'ensemble de l'outil est exploité grâce à un logiciel de contrôle puissant et convivial qui facilite les données de configuration et le contrôle de l'exposition. NIKON NSR S 205 C est également intégré avec un actif d'automatisation pour augmenter la productivité et générer des rendements plus élevés. NSR S205C est conçu pour les fabricants de semi-conducteurs avec une solution complète qui donne un haut débit de production et une précision maximale. Avec sa superbe capacité de formation d'image, NSR S 205 C est le choix naturel pour les entreprises à la recherche de la plus haute performance dans la fabrication d'étapes.
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