Occasion NIKON NSR S207D #9391602 à vendre en France
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NIKON NSR S207D wafer stepper est un outil de lithographie de haute précision utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est idéal pour les fonderies d'appareils, les laboratoires de recherche et développement et les établissements d'enseignement. L'équipement est optimisé pour le coût, la précision et le débit. Le système est composé de deux composants principaux, une unité de projection optique avancée et un étage x/y motorisé pour le mouvement du substrat. Il comprend également un automate pour l'échange rapide de substrats. La machine de projection optique est composée d'un outil optique de précision et d'un moteur pas à pas pour la modulation électro-optique. L'optique comprend jusqu'à 20 miroirs et lentilles, y compris l'optique convexe, concave et achromatique, qui sont montés ensemble et livrés avec l'actif. L'optique se caractérise par une faible aberration, une haute résolution optique et une bonne qualité d'image. Le moteur pas à pas avancé permet de contrôler la position de l'étage de haute précision et la rotation de la lentille. L'étage x/y motorisé est conçu pour la précision et la vitesse. Il est entraîné par un moteur pas à pas à commande numérique et dispose d'un contrôle de mouvement avancé. L'étage a 400 mm x 400 mm de portée et peut fournir jusqu'à 500 mm/s de mouvement rapide, contrôlé à la précision de 0,7 μ m. L'étape comprend également la prévention des chutes et la protection contre les accidents. L'automate permet la protection du réticule et de la plaque de verre, ainsi que l'échange rapide de substrats pour un fonctionnement automatisé. En conclusion, NIKON NSR-S207D wafer stepper est un outil de lithographie idéal pour la fabrication d'appareils, offrant une précision et un débit élevés. Il dispose d'un modèle de projection optique de précision, d'un étage x/y motorisé et d'un automate pour un échange rapide de substrat. L'équipement est conçu pour la rentabilité et la fabrication précise de nombreux types de dispositifs semi-conducteurs.
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