Occasion NIKON NSR S208D #293812960 à vendre en France

NIKON NSR S208D Wafer Stepper est un équipement de lithographie hautement capable conçu pour des applications de fabrication avancées. Il dispose d'un système optique de pointe, permettant une latitude d'exposition de 0,08 μ m à 20 μ m. Le S208D intègre également la technologie exclusive NIKON Pulse Power Supply (PPS), qui assure un contrôle optimal de l'énergie d'exposition, réduisant la variance des processus sur les plaquettes. Il a une plage d'alignement d'exposition agressive de +/- 0,2 μ m pour assurer un débit maximal et réduire le temps d'alignement de la solution. D'autres caractéristiques de NSR S208D comprennent un champ de vision de 204 mm, une taille maximale de table jusqu'à 460mm et jusqu'à 45 dés par meurtrière. De plus, le S208D dispose d'une nouvelle unité de revêtement diffraction limitée (DLC) qui fournit des motifs de revêtement extrêmement uniformes sur la plaquette avec une répétabilité élevée. Cette machine DLC est personnalisable pour répondre à des exigences de processus spécifiques, telles que la réduction du temps d'exposition, la prévention de la panne de wafer et l'amélioration du contrôle des particules. Le S208D dispose également de capacités d'inspection innovantes, y compris la nouvelle fonction One Shot Ready Inspection (OSRI). Cela permet d'inspecter et de comparer les données d'exposition en temps réel pour en améliorer la précision. L'outil peut détecter et corriger les erreurs d'exposition avant la fin du processus, ce qui le rend idéal pour des exigences de précision plus élevées. En outre, le S208D prend également en charge l'intégration PhotoshopMD, permettant aux utilisateurs de créer ou d'importer leurs propres conceptions. Tout au long de sa conception, le S208D met l'accent à la fois sur le débit et la précision. En plus de l'optique de haute précision et de l'architecture efficace des actifs, son unité de régulation de température (TCU) robuste assure un contrôle de température extrêmement précis. Cela garantit une répétabilité uniforme de l'exposition et minimise la dérive thermique, une considération particulièrement importante pour les travaux de retravaillement. Le S208D dispose également de programme/mise à jour de données en temps réel, permettant un entretien facile et un entretien préventif. NIKON NSR S208D Wafer Stepper est une solution fiable et puissante pour les applications avancées de lithographie. Ses caractéristiques maximisent le débit et la précision, tandis que ses capacités d'inspection avancées aident à assurer le contrôle de la qualité.