Occasion NIKON NSR S306 #120927 à vendre en France

NIKON NSR S306 est un équipement de photolithographie utilisé pour produire des masques de circuit intégré (IC) et de petites caractéristiques étagées. Le système est spécialement conçu pour des capacités de haute résolution, d'alignement de sous-microns, d'enregistrement et de superposition. NSR S306 est conçu pour traiter des applications telles que les plaquettes nues, les films sur plaquettes, les microdispositions et la correction avancée de distorsion des emballages IC. L'unité utilise un grossissement NIKON 5X robuste et une machine de balayage pas à pas haute résolution, ce qui est idéal pour la création d'appareils de petite largeur de ligne. L'outil supporte également l'ultraviolet profond (DUV) et l'éclairage Xeon. NIKON NSR S306 offre une gamme complète d'applications et de fonctionnement haute performance, y compris une taille de champ de 12 pouces, une résolution de 1,06 nm, une précision d'alignement de 1/50 micron et un débit maximal de 210 plaquettes/heure. Pour les applications film-sur-plaquette, l'actif peut gérer différents types de films, jusqu'à 0,25 μ m d'épaisseur, et peut exposer et traiter des largeurs de ligne inférieures à 0,3 micron. De plus, l'accélération et la décélération du modèle sont réglables, ce qui permet à l'équipement de traiter avec une faible stepdisturbance et une vitesse ultra-élevée. NSR S306 dispose également d'un éclairage hors axe, ce qui lui permet de traiter des caractéristiques extrêmement importantes. Le système dispose également d'une caméra CoaXPress haute vitesse pour les applications d'alignement et d'enregistrement fines et complexes. NIKON NSR S306 dispose également d'une manutention de tranches de précision entièrement automatisée, de la facilitation des cassettes aux opérations de prise en charge. Correction de la page de wafer et du fond, plus l'ID de wafer, les données métriques et l'étalonnage d'étape peuvent être effectués pour chaque wafer individuellement ou pour un lot de wafers. NSR S306 est équipé d'un logiciel avancé de traitement et d'analyse d'images, qui permet d'évaluer avec précision les résultats de traitement hors ligne. Ce logiciel détecte automatiquement la plaquette marginale ou endommagée et la zone défectueuse sur la plaquette, permettant à l'utilisateur de détecter rapidement et avec précision les défauts éventuels. D'autres caractéristiques de l'unité comprennent la compensation automatique du réticule, l'optique avancée, et le refroidissement électronique. NIKON NSR S306 est un choix idéal pour des exigences de production IC avancées, offrant une précision, un affichage et une automatisation supérieurs. Il offre une flexibilité extrême en termes d'applications et de vitesses de traitement variables et convient à de nombreuses applications telles que la correction avancée de distorsion d'emballage IC, le contrôle exceptionnel de la largeur de ligne, et une flexibilité extrême en termes d'éclairage, d'alignement, d'enregistrement et de manutention des plaquettes.