Occasion NIKON NSR S308F #293754616 à vendre en France

Fabricant
NIKON
Modèle
NSR S308F
ID: 293754616
ArF Scanner.
NIKON NSR S308F est un marchepied de wafer de haute performance. Il est conçu pour fournir des capacités d'imagerie supérieures et un débit accru. Le S308F est livré avec un équipement optique de nouvelle génération, qui se compose d'une lentille de compression cristalline asphérique, des éléments de diffraction avancés, un miroir réfléchissant asphérique, et un créateur de masque à décalage de super résolution. Ce système d'optique permet d'obtenir une précision et une précision de dessin supérieures pour les finitions de haute densité nécessaires dans les couches de contact et les structures des dispositifs. L'algorithme de focalisation automatique propriétaire du stepper, qui ajuste automatiquement l'unité optique, fournit une focalisation précise sur l'ensemble de la plaquette. Avec une taille de champ maximale de 250 mm et une profondeur de champ allant jusqu'à 3,5 mu, le S308F est capable d'accueillir n'importe quel type de lithographie, y compris l'ArF, KrF, DUV, et l'imagerie dans la masse blanchie exposée. Le S308F est conçu pour un fonctionnement facile avec une puissante machine basée sur Windows qui offre un contrôle intuitif de l'imagerie des plaquettes. L'outil s'intègre parfaitement avec l'entrée et la compilation de données dans FabMaster, et est capable de stocker jusqu'à 1000 images de plaquettes. Il comprend également un outil de numérisation et une connexion aux principaux systèmes CAO. Pour assurer une productivité de haut niveau, le S308F comprend plusieurs fonctions avancées, y compris la couture sur champ variable, une installation d'imagerie en temps réel avec cartographie CD-SEM à des endroits précis, l'inspection des marques d'erreur sur CD-SEM, et une installation de correction d'image améliorée pour améliorer la luminosité de l'image, LER, et l'uniformité CD. NSR S308F est un pas de plaquette polyvalent conçu pour des performances de haut niveau avec des exigences minimales de maintenance. Son atout optique avancé et sa large gamme d'outils d'imagerie de plaquettes permettent à la fois une configuration rapide et une imagerie fiable de divers modèles. Le modèle facile à utiliser basé sur Windows et l'intégration avec CAO et le logiciel de traitement contribuent également à sa grande efficacité et fiabilité. NIKON NSR S308F est un excellent choix pour les applications de wafer stepper au niveau de la production.
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