Occasion NIKON NSR S322F #293665226 à vendre en France
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ID: 293665226
Taille de la plaquette: 12"
Scanner, 12"
Wavelength: 193 nm
Lens-NA: 0.92
Exposure field: 26 x 33 mm
Reduction ratio: 1:4
Resolution: ≤ 65 nm
Single machine overlay: ≤ 2 nm
Mix and match overlay: ≤ 5 nm
Throughput: 300 mm
Lens data included.
NIKON NSR S322F est un pas de plaquette révolutionnaire qui offre une large gamme de capacités pour la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement d'alignement de pas et de répétition est conçu pour des applications de pas de plaquettes à haute résolution et est le premier pas de ce type conçu spécifiquement pour les besoins de la lithographie de plaquettes automatisées. Il utilise l'optique de série NIKON « i », qui offre une excellente planéité de champ, rugosité de surface, et des capacités d'imagerie haute résolution. NSR S322F est capable de dimensions de plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre - le plus grand diamètre actuellement disponible pour la fabrication de plaquettes. Il dispose également d'un système de vision de 4 pouces avec des fonctionnalités avancées, y compris la capture d'image complète et la couture, le mode boost, et la capacité de remplissage de phase. De plus, l'unité d'examen automatisé des défauts (ADR) permet de détecter et de corriger tout défaut ou incohérence sur la plaquette avant son expédition. NIKON NSR S322F a également une grande précision géométrique, avec une précision d'alignement de 0,5 micromètre. Cela signifie qu'il est capable de produire de grands composants de forme précise sans effets de distorsion ou de distorsion. De plus, ce pas offre un débit allant jusqu'à 900 plaquettes par heure avec un masque de 8 pouces ou 12 pouces, et offre une taille d'ouverture allant jusqu'à 0,5 micron avec une taille de faisceau optique de 0,4 micron. Enfin, NSR S322F est conçu avec une source optique économe en énergie, permettant une plus grande stabilité et des économies d'énergie pendant le fonctionnement. Ce stepper offre également un excellent contrôle de la température pour une résolution optimale, permettant aux utilisateurs d'ajuster le foyer de la machine avec facilité, même dans des conditions de haute température. En outre, il comprend également un outil de contrôle centralisé, qui offre un accès facile aux paramètres pas à pas prévus. Cela garantit que les plaquettes sont traitées de la manière la plus efficace, offrant des performances optimales et la qualité du produit.
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