Occasion NIKON NSR S609B #9223197 à vendre en France
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NIKON NSR S609B est un équipement d'exposition de type micro-pas conçu pour des applications de lithographie avancées. En tant que système d'imagerie par immersion avec une source de lumière proche du champ, NSR S609B intègre une large gamme de fonctionnalités avancées, ce qui le rend adapté aux applications avancées dans les domaines des circuits intégrés, des écrans plats et d'autres technologies de pointe. NIKON NSR S609B offre une unité avancée d'alignement spatial capable de détecter rapidement et précisément les erreurs d'alignement globales ou locales. La machine est optimisée pour effectuer avec précision l'enregistrement de l'image, en s'orientant en fonction des marques d'alignement de la grille arrière ou avant sur la couche de résiste. L'outil utilise également une technique de détection optique propriétaire pour détecter des repères d'alignement à pas multiples pour une sélectivité de motif plus précise. NSR S609B dispose d'une vitesse d'exposition extrêmement rapide, ce qui le rend idéal pour les applications de lithographie à haute vitesse. L'actif est capable de livrer jusqu'à 4 expositions par seconde pour satisfaire les exigences de débit les plus exigeantes pour les circuits intégrés et les écrans plats. Le modèle offre également une grande profondeur de focalisation et une facilité d'intégration avec d'autres systèmes pour des solutions d'imagerie avancées. L'équipement d'imagerie avancé est capable de focaliser et d'aligner précisément les couches sur des profondeurs de champ étendues et avec une focalisation minimale d'échantillon à échantillon. NIKON NSR S609B est équipé d'un port microscopique de 6 pouces pour une intégration facile avec les configurations de laboratoire existantes. NSR S609B est également capable d'obtenir une résolution et un contrôle de la taille des caractéristiques inégalés. Ceci en fait un système idéal pour les exigences exigeantes des applications lithographiques dans les domaines des circuits intégrés et des substrats d'affichage. L'unité a la capacité de produire jusqu'à 0,6 µm de taille de caractéristique, et peut gérer une taille de caractéristique minimale de 25 nm et un pas de ligne minimum de 50 nm. NIKON NSR S609B est conçu avec un enregistrement mécanique de haute précision et une technologie avancée de commande numérique (NC). Ceci contribue à un placement de motif et une précision de recouvrement très précis et reproductible. La machine offre des performances d'imagerie stables et reproductibles de motifs quelle que soit la forme ou la taille en raison de son faible axe principal et de sa haute résolution commande impulsionnelle moteur pas à pas. NSR S609B est conçu pour une utilisation optimale et la commodité de l'opérateur. L'outil est entièrement compatible avec la programmation STEP-NC et la télécommande, ce qui lui permet d'être intégré dans une variété d'environnements de fabrication. En outre, la machine est équipée d'une source lumineuse 24 V, permettant son utilisation en tant que dispositif embarqué, et est livrée avec une interface utilisateur numérique pour simplifier l'utilisation des actifs et réduire le temps d'interaction de la machine. En résumé, NIKON NSR S609B est un modèle avancé de pas de plaquettes conçu pour l'imagerie haute performance et les applications technologiques en développement rapide. Sa combinaison de vitesse, de précision et de facilité d'utilisation lui permet de répondre aux besoins les plus exigeants en lithographie.
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