Occasion NIKON NSR S620D #9401370 à vendre en France
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NIKON NSR S620D est un pas de plaquette haute performance développé par NIKON pour offrir une précision et une précision supérieures aux procédés de fabrication des semi-conducteurs. NIKON NSR-S620D utilise une technologie de balayage et une optique de pointe pour obtenir des performances et une flexibilité essentielles pour l'imagerie et la gravure de micropuces haut de gamme. NSR S620D est conçu à l'aide d'un équipement entièrement automatisé doté d'un étage à six axes et d'une capacité de traitement d'inclinaison. Ce système offre une flexibilité maximale pour traiter une grande variété de tailles de plaquettes et peut gérer plusieurs configurations de montage de plaquettes. NSR-S620D est conçu pour soutenir un large éventail d'applications d'exposition de la lithographie optique, l'exposition aux photomasques, la gravure et l'exposition au plasma transitoire. NIKON NSR S620D dispose d'une unité de positionnement robuste avec une précision de pas maximale de 2,5 μ m. L'étage 6 axes et la capacité d'inclinaison de NIKON NSR-S620D permettent un positionnement précis de la plaquette et assurent des niveaux d'exposition uniformes. Afin de maintenir les normes de performance les plus élevées, NSR S620D est équipé d'un alignement automatique tridimensionnel de la lentille et de la plaquette lors de chaque processus d'exposition. Cette machine de positionnement optique obtient une grande précision grâce à l'utilisation d'une série de caméras et d'un miroir de référence. Il utilise également la technologie avancée NIKON d'alignement laser pour assurer une haute précision de position. L'outil d'imagerie optique de haute précision de NSR-S620D est capable de fournir jusqu'à 0,5 μ m de résolution sur tout le champ de vision. Cette performance supérieure est obtenue grâce à l'intégration d'optiques d'imagerie propriétaires NIKON et de puissantes sources d'éclairage. NIKON NSR S620D est également construit avec un outil de réglage de la puissance laser balayé pour assurer une image uniforme optimale sur une gamme complète de paramètres d'exposition. En plus d'une qualité d'imagerie supérieure, NIKON NSR-S620D est conçu pour un rendement et un débit maximaux. L'unité peut supporter jusqu'à 12 plaquettes par heure, dans une large gamme de tailles et de caractéristiques. De plus, NSR S620D est équipé d'un aspirateur à sec et d'un modèle de purge à l'azote pour assurer un environnement propre et sans poussière. Dans l'ensemble, NSR-S620D est un pas de plaquette avancé qui offre une précision et une précision supérieures dans les processus d'imagerie et de gravure de micropuces haut de gamme. Offrant un processus de production très fiable et efficace, NIKON NSR S620D est une solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à améliorer leur débit et à obtenir des résultats supérieurs.
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