Occasion NIKON NSR SF120 #293589139 à vendre en France
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NIKON NSR SF120 est un pas de plaquette de haute précision utilisé dans le processus de microlithographie. C'est un équipement de pointe conçu pour produire des microstructures de haute qualité sur silicium et autres substrats semi-conducteurs. Cette machine utilise une optique avancée et possède un large champ optique. Il a un champ de vision de 35mm, qui est le plus grand de sa catégorie. La source lumineuse est un laser de 200mm et ce produit de NIKON a un revêtement sur les bords des éléments optiques pour réduire les réflexions et les éruptions. La lentille du microscope est également enduite pour fournir une image claire de l'échantillon. NIKON NSR-SF120 est équipé d'un étage motorisé 6 axes qui permet un positionnement précis sur le substrat avec une résolution de 0,25 μ m. Le stepper dispose d'un système de flux d'air à cinq axes pour minimiser les vibrations environnementales, lui permettant d'atteindre une tolérance de focalisation sous microns. NSR SF 120 est conçu pour accueillir une large gamme de substrats et est capable d'usiner des substrats jusqu'à 450mm de diamètre. Son gestionnaire de plaquettes est capable d'assurer un maintien à vide sécurisé du substrat et permet une manipulation à grande vitesse précise des plaquettes. L'automatisation complète de l'unité garantit des performances fiables et efficaces. Il dispose de contrôleurs moteurs programmables intégrés et d'une interface conviviale qui peut être utilisée pour entrer et gérer des étapes et des recettes pour diverses applications. Il dispose également d'une suite de composants robotiques mobiles et fixes pour le contrôle complet du stepper. NSR SF120 dispose également d'une machine d'étalonnage et d'alignement automatique. Cet outil utilise un algorithme avancé de focalisation des lignes pour mesurer la focalisation des bords de plusieurs lignes sur la surface du substrat et ensuite utiliser ces informations pour effectuer des corrections si nécessaire. NIKON NSR SF 120 est un pas de plaquette puissant et fiable adapté à une large gamme d'applications de microlithographie. Il est conçu ergonomiquement et bien adapté pour une production industrielle à haut volume.
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