Occasion NIKON NSR SF120 #9361374 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9361374
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
i-Line stepper, 12"
Main body
Loader chamber
Power supply box
Lamp house cooling unit
Exposing source: i-line
Wavelength: 365 nm
Surface illumination: 1000 mW / cm²
Reduction ratio: 1:4
Wafer alignment: FIA / LSA
LC Control: 25x33 mm
Step pitch: 25 nm x 33 mm, 76-Shots, 12"
Exposure amount: 90 mJ / cm²
Reticle buffer: 14 Sheets (Maximum)
(2) Reticle load ports
Throughput:
FIA-EGA: 100 Wafer / Hour
(2) LSA-EGA: 90 Wafer / Hour
Resolution: <280 nm
Alignment accuracy: <35 nm (M+3σ)
Projection lens NA: 0.50~0.62
Lighting NA with squeezing:
I-NA: 0.43 CONV
I-NA: 0.36 CONV
I-NA: 0.50 2/3Ann
(2) VRA Angle exposure range (Scan field):
26x33 mm
25x33 mm
Options:
PPD
Particle inspection device
2D Barcode
WL Front in-line
Relay FOUP unit
2003 vintage.
NIKON NSR SF120 est un pas de plaquette entièrement automatisé, conçu spécifiquement pour les besoins sophistiqués de traitement des plaquettes. Ce stepper offre une large gamme de caractéristiques, telles qu'un équipement d'alignement de modèle supérieur qui assure une précision de recouvrement exacte sur plusieurs niveaux de plaquettes. Le système de mouvement à 5 axes assure également des mouvements de plaquettes précis avec un minimum de vibrations pour une plus grande stabilité. NIKON NSR-SF120 fournit également un objectif de haute précision qui produit une excellente fidélité à la surface des plaquettes et des performances améliorées. Les logiciels avancés et l'optique pour une imagerie de champ lumineux garantissent également une excellente détection de bord et la netteté. Le NSR SF 120 dispose d'un grand champ de vision de 6 pouces qui peut accueillir la plupart des formes et des tailles de plaquettes. Sa caméra haute résolution de 10 mégapixels offre des capacités d'imagerie exceptionnelles pour un processus de dépôt de plaquettes précis et reproductible sur toute la surface de la plaquette. Une machine de calibrage automatique des plaquettes aide à réduire l'entrée des utilisateurs en définissant les paramètres d'exposition optimaux pour chaque produit. Cela permet de s'assurer que tous les processus de dépôt sont effectués avec une précision optimale et sans aucun contrôle manuel. Ce stepper est également équipé d'une multitude de fonctionnalités pour améliorer le traitement de la plaquette, y compris la compensation du désalignement du substrat, l'identification du motif de défaut et la prévisualisation du recouvrement au niveau de la plaquette pour améliorer la qualité et la répétabilité du stepper. NSR SF120 dispose également d'un régulateur de température idéal pour maintenir les meilleures conditions pour le traitement des plaquettes. Il utilise une chambre de pression de haute précision, qui aide à contrôler la dérive de la température, l'humidité et les niveaux de contamination à la surface de la plaquette. La technologie de refroidissement à jet d'air est également utilisée pendant le depo
Il n'y a pas encore de critiques