Occasion NIKON NSR SF130 #293630223 à vendre en France
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NIKON NSR SF130 est un pas de plaquette spécialisé qui est utilisé pour le traitement de lithographie dans la production de circuits intégrés haute performance et d'autres composants microélectroniques. Il utilise des méthodes avancées de numérisation telles que le faisceau de forme variable (VSB) et l'éclairage sélectif focalisé/non sélectif (SFI/NSI) pour maximiser la résolution après exposition, améliorer la fidélité du motif et assurer un transfert précis du motif. NIKON NSR-SF130 utilise une étape de balayage programmable, qui permet une flexibilité importante dans le déplacement et le positionnement d'un masque et d'un substrat lithographiques tandis qu'un laser UV trace le motif du masque sur le substrat avec une extrême précision. Cette étape de balayage est capable de manipuler jusqu'à 8 pouces de plaquettes avec une précision de positionnement (X, Y et θ) de 0,05 μ m. La répétabilité du balayage est également très excellente à 0,1 μ m. Le stepper est également équipé d'un équipement de contrôle de dose de haute précision qui contrôle avec précision la puissance laser et le temps d'exposition, ainsi que d'un système de mandrin à vide qui maintient la planéité et le parallélisme du substrat. De plus, NSR SF 130 dispose également d'un régulateur en boucle fermée qui assure la réduction de l'aberration provoquée par la dilatation thermique du masque, assurant ainsi une impression haute résolution. En plus de sa précision et de ses performances impressionnantes, NSR SF130 est également très efficace. Sa machine intégrée d'alignement des plaquettes de haute précision permet des temps de réglage plus courts et une productivité accrue, tout comme son outil de contrôle de focalisation optimisé qui surveille et ajuste la position de la plaquette tout au long du processus d'exposition. De plus, son module d'étanchéité laser à diffusion thermique réduit considérablement le rayonnement thermique dans l'actif, améliorant ainsi la stabilité globale du modèle. Dans l'ensemble, NSR-SF130 est un pas de plaquette incroyablement avancé et puissant capable de délivrer des impressions haute résolution avec la plus grande précision et la plus grande vitesse. Grâce à son équipement intégré de contrôle de dose, à son étage de balayage très précis, à son système d'alignement des plaquettes et à son unité de contrôle de focalisation optimisée, le NIKON NSR SF 130 est idéal pour produire en toute sécurité et rapidement des circuits intégrés et d'autres composants microélectroniques de la plus haute qualité.
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