Occasion NIKON NSR SF130 #293655222 à vendre en France
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NIKON SF130 est un pas de tranche intermédiaire utilisé dans la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Il s'agit d'un équipement de production reconnu et largement utilisé dans la production de puces, la production de photomasques et l'emballage de dispositifs avancés. NIKON SF 130 a une taille de champ de balayage standard de 5,9 pouces (150) mm ou mesurée par pas jusqu'à 4,95 micromètres. Il offre une grande uniformité de la taille du champ d'exposition, de la planéité et de la résolution sur l'ensemble du champ de balayage. Il a une correction de distorsion de 25 mm et une capacité d'autofocus de 10 mm, permettant un balayage optique très précis et fiable de la plaquette. SF130 est un système pas à pas avec un Linac à grande vitesse. Sa source est un laser à ions krypton (Kr) de longueur d'onde 532 nm. Le laser a une large gamme de niveaux de puissance et est capable de scanner jusqu'à 100 um/Sec ou jusqu'à 20 X/s. Il est équipé d'une alimentation électrique 28.5kV permettant une haute précision et une imagerie haute résolution. En outre, il est équipé d'un système d'autofocus interférométrique ultra-précis qui permet à l'étape de se concentrer précisément sur chaque couche en même temps. En plus de ses caractéristiques standard, SF 130 intègre également une source lumineuse hautement capable avec une résolution 4X3X3M et un large champ de vision pour une sortie lumineuse cohérente. En outre, il est en mesure de fournir diverses options DUV 180nm pour la lithographie ArF, ainsi que la capacité I-line pour l'emballage avancé des appareils. En outre, le système a un débit exceptionnel de 5 cycles/heure et peut atteindre 200 doses dans un seul travail. En résumé, NIKON SF130 est un pas de plaquette très fiable et capable qui est largement utilisé dans la production de puces, la production de photomasques, et l'emballage de dispositifs avancés. Il offre un champ de balayage maximum de 5,9 pouces, une correction de distorsion de 25 mm, une capacité d'autofocus de 10 mm, un laser à ions krypton, une alimentation 28.5kV, une résolution 4X3X3M et un large champ de vision. Il est également capable de fournir diverses options de 180nm DUV et a un débit impressionnant de 5 cycles/heure.
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